Mikromechanik

Einführung in Technologie und Anwendungen

  • Stephanus Büttgenbach

Part of the Teubner Studienbücher Angewandte Physik book series (ANPH)

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages 1-15
  2. Stephanus Büttgenbach
    Pages 17-20
  3. Stephanus Büttgenbach
    Pages 21-44
  4. Stephanus Büttgenbach
    Pages 45-55
  5. Stephanus Büttgenbach
    Pages 56-143
  6. Stephanus Büttgenbach
    Pages 144-161
  7. Stephanus Büttgenbach
    Pages 162-214
  8. Stephanus Büttgenbach
    Pages 215-220
  9. Back Matter
    Pages 221-240

About this book

Keywords

Elektronik Entwicklung Fertigung Industrie Ingenieur Mechanik Mikrosystem (MEMS) Systeme Systemtechnik Technik Technologie Verfahren Werkstoff Wissenschaft angewandte Physik

Authors and affiliations

  • Stephanus Büttgenbach
    • 1
  1. 1.Technische Universität BraunschweigDeutschland

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-322-91883-3
  • Copyright Information Vieweg+Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, Wiesbaden 1991
  • Publisher Name Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-519-13071-0
  • Online ISBN 978-3-322-91883-3
  • About this book
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