Zusammenfassung
Die Mikromechanik befaßt sich mit Entwurf, Herstellung und Anwendung dreidimensionaler mechanischer Strukturen und Systeme, deren Abmessungen in mindestens einer Dimension so klein sind, daß feinmechanische Formgebungsverfahren nicht mehr sinnvoll eingesetzt werden können. Statt dessen nutzt die Mikromechanik Methoden und Materialien der Halbleitertechnologie, die sich ganz allgemein zur Erzeugung von Strukturen im Mikrometerbereich eignen [BRO 82, HEU 89].
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© 1991 Springer Fachmedien Wiesbaden
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Büttgenbach, S. (1991). Bedeutung und Inhalte der Mikromechanik. In: Mikromechanik. Teubner Studienbücher Angewandte Physik. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-322-91883-3_1
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-91883-3_1
Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
Print ISBN: 978-3-519-13071-0
Online ISBN: 978-3-322-91883-3
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