Zusammenfassung
Als Substratmaterial zur Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen bietet sich zunächst einkristallines Silizium an, das aufgrund der Entwicklungen in der Mikroelektronik in nöchster Reinheit und kristlliner perfektion verfügbar ist. Silizium hat darüberhinaus sehr gute mechanische Eigenschaften, die mit denen von Stahl vergleichbar sind, insbesondere zeigt es keine Ermüdungserscheinungen.
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© 1991 Springer Fachmedien Wiesbaden
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Büttgenbach, S. (1991). Werkstoffe der Mikromechanik. In: Mikromechanik. Teubner Studienbücher Angewandte Physik. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-322-91883-3_2
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-91883-3_2
Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
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Online ISBN: 978-3-322-91883-3
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