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Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf

  • Oliver Morlok

Part of the IPA-IAO — Forschung und Praxis book series (IPA, volume 268)

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages 1-13
  2. Oliver Morlok
    Pages 15-16
  3. Oliver Morlok
    Pages 17-48
  4. Oliver Morlok
    Pages 65-75
  5. Oliver Morlok
    Pages 76-112
  6. Oliver Morlok
    Pages 113-122
  7. Oliver Morlok
    Pages 123-124
  8. Oliver Morlok
    Pages 125-133
  9. Back Matter
    Pages 135-147

About this book

Keywords

Arbeit Automatisierung Fertigung Forschung Industrie Physik Produktion Technik Technologie Verfahren

Authors and affiliations

  • Oliver Morlok
    • 1
  1. 1.Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA)StuttgartDeutschland

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-662-06656-0
  • Copyright Information Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1998
  • Publisher Name Springer, Berlin, Heidelberg
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-540-64567-2
  • Online ISBN 978-3-662-06656-0
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