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Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf

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Literatur

  1. Arai, T.; Fujita, H.; Oguri, K.: Growth and Properties of TiC and TiN coatings on steel deposited by plasma-assisted chemical vapour deposition. In: Proc. of International Conference on Surface Engineering, Tokio (1988), S. 337-346

    Google Scholar 

  2. Archer, N. J.: The Plasma-Assisted Chemical Vapour Deposition of TiC, TiN and TiCxN1-x. In: Thin Solid Films 80 (1981), S. 221–225

    Article  Google Scholar 

  3. Baddour, R. F.; Timmins, R. S.: The Applications of Plasmas to Chemical Processing. Cambridge, Mass.: MIT Press, 1967

    Google Scholar 

  4. Bethge, K.; Gruber, G.: Physik der Atome und Moleküle. Weinheim, Basel, Cambridge, New York: VCH Verlag, 1990

    Google Scholar 

  5. Burnett, P. J.; Rickerby, D.S.: The scratch test adhesion of thin films. In: Proceedings of the Royal Society of London A 254 (1960), S. 163–176

    Article  Google Scholar 

  6. Bunshah, R. F.: Handbook of deposition technologies for films and coatings. New Jersey: Noyes Publications, 1994

    Google Scholar 

  7. Chu, X.; Wong, M. S.; Sproul, W. D.; Rohde, S. L.; Barnett, S. A.; In: Journal of Vacuum Science A 10 (1992) S. 1604

    Article  Google Scholar 

  8. Cobine, J. D.: Gaseous Conductors. New York: Dover, 1958

    MATH  Google Scholar 

  9. Crummenauer, J.: TiN-Beschichtungen mittels Plasma-CVD. Aachen: Shaker, 1995. Zugl. Bremen, TU, Diss., 1995

    Google Scholar 

  10. Dengel, D.: Härteprüfung in Theorie und Praxis. In: VDI Bericht 804-Zur Problematik der Härtemessung dünner Hartstoffschichten (1991), S. 11-28

    Google Scholar 

  11. Dingremont, N.; Bergmann, E.; Collignon, P.; Michel, H.: Optimization of duplex coatings built from nitriding and ion plating with continuos and discontinuous operation for construction and hot working steels. In: Surface and Coatings Technology 72 (1995), S. 163–168

    Article  Google Scholar 

  12. Dingremont, N.; Bergmann, E.; Collignon, P.: Application of duplex coatings for metal injection moulding. In: Surface and Coatings Technology 72 (1995), S. 157–162

    Article  Google Scholar 

  13. DIN 50 133: Prüfung metallischer Werkstoffe. Härteprüfung nach Vickers im Bereich HV 0,2 bis HV 100.

    Google Scholar 

  14. DIN V ENV 1071-3: Hochleistungskeramik; Prüfverfahren von keramischen Schichten, Teil 3: Bestimmung der Haftung mit dem Ritztest.

    Google Scholar 

  15. DIN 50 324: Prüfung von Reibung und Verschleiß, Modellversuche bei Festkörpergleitreibung, Kugel-Scheibe-Prüfsystem.

    Google Scholar 

  16. DIN V ENV 1071-2: Hochleistungskeramik; Prüfverfahren von keramischen Schichten, Teil 2: Bestimmung der Schichtdicke mit dem Kalottenschliff-verfahren.

    Google Scholar 

  17. DIN 4760: Oberflächenkenngrößen. Begriffsbestimmung Gestaltabweichung und Rauheit

    Google Scholar 

  18. DIN 4761: Oberflächenkenngrößen. Definition und Ermittlung von Rauheitskenngrößen

    Google Scholar 

  19. DIN 4762: Oberflächenkenngrößen. Definition von Oberflächenprofilen.

    Google Scholar 

  20. DIN 4772: Aufbau und meßtechnische Eigenschaften elektronischer Tastschnittverfahren.

    Google Scholar 

  21. DIN 4775: Toleranzbereiche elektronischer Tastschnittverfahren.

    Google Scholar 

  22. DIN 4768: Ermittlung von Rauheitskenngrößen mittels elektronischer Tastschnittverfahren.

    Google Scholar 

  23. DIN 50 190 Teil 3: Prüfung metallischer Werkstoffe. Ermittlung der Nitrierhärtetiefe aus der Härteverlaufskurve.

    Google Scholar 

  24. E. Doege; E. Westkämper; R. Seidel; C. Romanowski; G. Andreis; O. Morlok: Combined Surface Treatment of Forging Tools by Plasma Nitriding and PACVD. In: Berns, H.; Hinz, H.-Fr.; Hucklenbroich. Progress in Tool Steels: Proceedings, September 11-13, 1996, Bochum. Verlag Schürmann + Klages KG, Bochum, (1996), S. 373-383

    Google Scholar 

  25. Eisenberg, St.: Thermochemische Behandlung-Schwerpunkt: Plasmadiffusionsbehandlung. Mat.-wiss. u. Werkstoff. 21 (1990), S. 242–256

    Article  Google Scholar 

  26. Eysell, F.-W.: Nitrocarburieren im Salzbad. In: Chatterjee-Fischer, R.: Wärmebehandlung von Eisenwerkstoffen. Sindelfingen: Expert-Verlag, 1986 S. 185-231

    Google Scholar 

  27. Feldman, L. C: Fundamentals of Surface and Thin Films Analysis. New York, Amserdam, London: North-Holland, 1986

    Google Scholar 

  28. Fick, A.: Ann. Phys. Bd 4, Reihe 4 (1855) 59

    Article  Google Scholar 

  29. Fitzer, E.; Fritz, W.; Emig, G.: Technische Chemie. Berlin, Heidelberg, New York: Springer, 1989

    Book  Google Scholar 

  30. Francis, G.: The Glow Discharge at Low Pressures. In: Flügge, S.: Handbuch der Physik XXII. 54 Berlin, Heidelberg: Springer, 1956

    Google Scholar 

  31. Frey, H.; Kienel, G.: Dünnschichttechnologie. Düsseldorf: VDI-Verlag, 1987

    Google Scholar 

  32. Frey, H.: Vakuumbeschichtung 1. Plasmaphysik-Plasmadiagnostik-Analytik. Düsseldorf: VDI-Verlag GmbH, 1995

    Google Scholar 

  33. Friesen, T.; Haupt, J.; Gissler, W. u. a.: Ultrahard coatings from Ti-BN multilayers and by co-sputtering. In: Surface and Coating Technology 48 (1991), S. 169–174

    Article  Google Scholar 

  34. Fromm, E.; Gebhardt, E.: Gase und Kohlenstoff in Metallen. Berlin, Heidelberg, New York: Springer, 1976

    Book  Google Scholar 

  35. Gabriel, H. M.: Oberflächenschutzschichten aus der Gasphase (CVD-, PVD-Verfahren). In: Vakuum-Technik 31 (1982), S. 46–60

    Google Scholar 

  36. Grasserbauer, M.; Dudek, H.: Angewandte Oberflächenanalyse. Berlin, Heidelberg, New York: Springer Verlag, 1985

    Google Scholar 

  37. Gredic, T.; Zlatanovic, M.; Popovic, N.; Bogdanov, Z.: Effect of plasmanitriding on the properties of (Ti, A1)N coatings deposited onto hot work steel substrates. In: Thin Solid Films, 228 (1993) S261–266

    Article  Google Scholar 

  38. Haefer, R. A.: Oberflächen-und Dünnschicht-Technologic Teil 1: Beschichtungen von Oberflächen. 1. Auflage. Berlin, Heidelberg, New York, London, Paris, Tokyo: Springer, 1987

    Book  Google Scholar 

  39. Heinze, M.: Wear resistance of hard coatings in plastics processing. In: Surface and Coatings Technology 78 (1997), S. 180–186

    Google Scholar 

  40. Heumann, Th.: Diffusion in Metallen: Grundlagen, Theorie, Vorgänge in Reinmetallen und Legierungen. Berlin, Heidelberg; New York; London; Paris; Tokyo, Hong Kong, Barcelona, Budapest: Springer, 1992

    Book  Google Scholar 

  41. Hilton, M. R.; Narasimhan, L. R.; Nakamura, S. u. a.: Composition, Morphology And Mechanical Properties of Plasma-Assisted Chemically Vapour-Deposited TiN-Films on M2 Tool Steel. In: Thin Solid Films 139 (1986), S. 247–260

    Article  Google Scholar 

  42. Hilton, M. R.; Vandentop, G. J.; Salmeron, M.: TiN Coatings on M2 Steel produced By Plasma-Assisted Chemical Vapour Deposition. In: Thin Solid Films (1987) Nr. 3, S. 377–381

    Google Scholar 

  43. Hintermann, H. E.: Tribological and Protective Coatings by Chemical Vapour Deposition. Thin Solid Films 84 (1981) S. 215–219

    Article  Google Scholar 

  44. Hitchman, Michael L.: Chemical Vapor Deposition. New York, San Francisco, London: Academic Press, 1993

    Google Scholar 

  45. Hoffmann, R.; Mallener, H.: Nitrieren und Nitrocarburieren in Gasen. In: Chatterjee-Fischer, R.: Wärmebehandlung von Eisenwerkstoffen. Sindelfingen: Expert-Verlag 1986, S. 63–123

    Google Scholar 

  46. Hoffmann, R.; Mittemeijer, E. J.; Somers, M. A. J.: Verbindungsschichtbildung beim Nitrieren und Nitrocarburieren. In: HTM 51 (1996) Nr. 3, S.162–169

    Google Scholar 

  47. Holleck, H.: Möglichkeiten und Grenzen einer gezielten Stoffauswahl für verschleißmindernde Hartstoffschichten. In: Fischmeister, H.; Jehn, H.: Hartstoffschichten zur Verschleißminderung. Oberursel: DGM-Verlag 1987, S.25–44

    Google Scholar 

  48. Hudis, M.: Study of Ion Nitriding. In: J. Appl. Phys. 44 (1973), S. 1489–1496

    Article  Google Scholar 

  49. Jang, D. H.; Bum, S. K.; Chun, J. S.: The Properties of the Titanium Nitride Deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition. In: Broszeit, E.; Münz, W. D.; Oechsner, H. u. a.: Plasma and Surface Engeneering 1988. Oberursel: DGM-Verlag, 1989, S. 147–153

    Google Scholar 

  50. Jang, D. H.; Chun, J. S.; Kim, J.G.: The Effect Of Reactant Gas Composition On The Plasma-Enhanced Chemical Vapour Deposition Of TiN. In: Thin Solid Films 169 (1989), S. 57–68

    Article  Google Scholar 

  51. Jehn, H.: Neue Entwicklungen bei Hartstoffbeschichtungen. In: Jahrbuch Oberflächentechnik Bd. 52. Heidelberg: Hüthig, 1996

    Google Scholar 

  52. Jehn, H.: Charakterisierung dünner Schichten. DIN-Fachbericht 39; 1. Auflage. Berlin, Wien, Zürich: Beuth-Verlag, 1993

    Google Scholar 

  53. Jitschin, W.: Reale Gase. In: Vakuum in Forschung und Praxis (1995) Nr. 2, S. 141–143

    Article  Google Scholar 

  54. Keller, K.; Koch, F.: Beschichtete Umformwerkzeuge für die Blechverarbeitung. In: Bänder Bleche Rohre (1991) Nr. 7, S. 37–49

    Google Scholar 

  55. Kerspe, J. H.: Vakuumtechnik in der industriellen Praxis. Ehningen bei Böblingen: Expert-Verlag, 1993

    Google Scholar 

  56. Kienel, G.: Vakuumbeschichtung 5. Anwendungen Teil II. Düsseldorf: VDI-Verlag GmbH, 1993

    Google Scholar 

  57. Kienel, G.: Vakuumbeschichtung 4. Anwendungen Teil I. Düsseldorf: VDI-Verlag GmbH, 1993

    Google Scholar 

  58. Kikuchi, N.; Oosawa, Y.; Nishiyama, A.: (1986) Proc. 9th Intern. Conf. On CVD, S. 728-724

    Google Scholar 

  59. Kishimoto, H.: Ein neues Pulvernitrierverfahren. Härterei Technische Mitteilungen 35 (1980) Nr. 6, S. 301–304

    MathSciNet  Google Scholar 

  60. König, U.; Tabersky, R.; van den Berg, H.: Research, development and performance of cemented carbide tools coated by plasma-activated chemical vapour deposition. In: Surface and Coatings Technology 50 (1991), S. 57–62

    Article  Google Scholar 

  61. Kussmaul, K.: Manuskript zur Vorlesung Werkstoffkunde I. WS 1987/1988 Staatliche Materialprüfungsanstalt, Universität Stuttgart S. 74-75

    Google Scholar 

  62. Laimer, J.; Störi, H.; Rödhammer, P.: Titanium Nitride Deposited by Plasma-Assisted Chemical Vapour Deposition. In: Thin Solid Films 191 (1990) S. 77–89

    Article  Google Scholar 

  63. Lampe, Th.; Eisenberg, St.; Laudien G.: Verbindungsschichtbildung während der Plasmanitrierung und-nitrocarburierung. Berichtsband AWT Tagung: Nitrieren und Nitrocarburieren. (1991), S. 39-57

    Google Scholar 

  64. Lampe, Th.: Plasmawärmebehandlung von Eisenwerkstoffen in Stickstoff-und kohlenstoffhaltigen Gasgemischen. VDI-Fortschrittsberichte Reihe 5, Nr. 93, 1985

    Google Scholar 

  65. Leyendecker, T.; Lemmer, O.; Esser, S.; Ebberink J.: The development of the PVD coating TiAIN as a commercial coating for cutting tools. In: Surface and Coatings Technology 48 (1991), S. 175–178

    Article  Google Scholar 

  66. Liedtke, D.: Grundlegende Betrachtung des Nitrierens und Nitrocarburierens von Eisenwerkstoffen. In: Chatterjee-Fischer, R.: Wärmebehandlung von Eisenwerkstoffen. Renningen Malmsheim: Expert-Verlag (1995) S. 1-69

    Google Scholar 

  67. Liedtke, D.: Grundlegende Betrachtung des Nitrierens und Nitrocarburierens von Eisenwerkstoffen. In: Chatterjee-Fischer, R.: Wärmebehandlung von Eisenwerkstoffen. Sindelfingen: Expert-Verlag (1986) S. 1-58

    Google Scholar 

  68. Lux, B.; Haubner R.; Altena, H.; Colombier C: Zur Herstellung verschleißhemmender Schichten insbesondere auf Hartmetallwendeschneidplatten durch CVD. In: Fischmeister, H.; Jehn, H.: Hartstoffschichten zur Verschleißminderung. Oberursel: DGM-Verlag 1987, S.71–112

    Google Scholar 

  69. Lux, T.: Untersuchung der Prozeßparameter bei der plasmaunterstützten Gasphasenabscheidung von Titannitridschichten in Reaktoren mit industriellen Abmessungen. Stuttgart, Universität, Institut für industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb, Diplomarbeit, 1994.

    Google Scholar 

  70. Mayr, P.; Stock, H.-R.: Deposition of TiN and Ti (O, C, N) hard coatings by a plasma assisted chemical vapour deposition process. In: Journal of Vacuum Science Technologie A 4 (1986) Nr. 6, S. 2726–2730

    Article  Google Scholar 

  71. Mennig G. und Palier G.: Verschleißschutz in der Kunststoffverarbeitung durch PVD-Hartstoffschichten, Mat.-wiss. u. Werkstofftech. 24, S. 152–159 (1993)

    Article  Google Scholar 

  72. Mitsuharu, K.: Film Deposition by Plasma Techniques. Berlin, Heidelberg; New York; London; Paris; Tokyo, Hong Kong, Barcelona, Budapest: Springer, 1992

    Google Scholar 

  73. Morlok, 0.; Scheibe, A.; Truger, T.: Schichtdicken vollautomatisch bestimmen. In: Metalloberfläche 51 (1997) Nr. 6, S. 443–445

    Google Scholar 

  74. Morlok, O.; Kampschulte, G.; Berg, L: Prüfen von Hartstoffschichten. In: Metalloberfläche 49 (1995) Nr. 7, S. 531–533

    Google Scholar 

  75. Morlok, O.; Mann, D.: Combined Plasma Nitriding and PACVD Surface Treatments of Metal-Forming Tools. In: Hecht, G. (Hrsg.); Richter, R (Hrsg.); Hahn J. (Hrsg.); Deutsche Vakuum Gesellschaft; Societe Francaise du Vide: Thin Films: Proceedings, April 1–3, 1996, Colmar. Oberursel: DGM-Informationsgesellschaft Verlag, (1996), S. 157-161

    Google Scholar 

  76. Murr, L. E.: Electron and Ion Microscopy and Microanalyses. New York: Marcel Dekker, Inc., 1982

    Google Scholar 

  77. Oguri, K.; Fujita, H.; Arai, T.: Effect Of N2-TO-TiC14 Flow Ratio On The Properties Of TiN Coatings Formed By D. C. Discharge Plasma-Assisted Chemical Vapour Deposition. In: Thin Solid Films 195 (1991), S. 77–88

    Article  Google Scholar 

  78. Olbrich, W.; Kampschulte, G.; Morlok, O.; Diener R.: Schichtprüfung mit dem Scratch-Tester. In: Dünne Schichten 3 (1992) Nr. 4, S. 38–41

    Google Scholar 

  79. Oldewurtel, A.; Eversberg K. R.: CVD-Beschichtung von Werkzeugen. Härterei Technische Mitteilungen 44 (1989) Nr. 1, S. 25–31

    Google Scholar 

  80. Oldewurtel, A.: Das Nitrieren von Werkzeugstählen unter besonderer Berücksichtigung des Pulvernitrierens. Z. f. wirtschaftliche Fertigung 70 (1975) Nr. 9, S. 467–475

    Google Scholar 

  81. Patscheider, J.: Plasmachemische Abscheidung und Charakterisierung von Hartstoffschichten aus Aluminiumoxid und Titannitrid. Zürich, TU, Diss., 1989

    Google Scholar 

  82. Perry, A. J.: Scratch adhesion testing: A critique. Surface Engeneering 2 (1986) S. 183–190

    Google Scholar 

  83. Pulker, H. K.: Verwendung kalter Plasmen in Schichtherstellungsprozeßen. Vakuum in Forschung und Praxis (1995) Nr. 1, S. 11–15

    Google Scholar 

  84. Rembges, W.: Nitrieren und Nitrocarburieren im Plasma. In: Chatterjee-Fischer, R.: Wärmebehandlung von Eisenwerkstoffen. Sindelfingen: Expert-Verlag (1986) S. 125-183

    Google Scholar 

  85. Reiprich, S. U.: Plasmachemische Abscheidungen von TiN und Aufstellung und Realisierung eines Konzepts zur Darstellung neuer, superharter Materialien durch Plasma CVD. München, TU, Diss., 1995

    Google Scholar 

  86. Reimer, L.; Pfefferkorn, G.: Raster-Elektronenmikroskopie. Berlin, Heidelberg, New York: Springer-Verlag, 1977

    Book  Google Scholar 

  87. Rie, K.-T.: Plasmagestützte CVD-Verfahren. In: VDI-Bericht 624. (1986), S. 24–45

    Google Scholar 

  88. Rie, K. T.; Eisenberg, S.; König, U. u. a.: Hard coatings on steel and hard metals by puls plasma CVD process. In: Proc. 6th Euro. Conf. on Chemical Vapour Deposition. Jerusalem/Israel (1987), S. 311-318

    Google Scholar 

  89. Rie, K. T.; Gebauer, A., Wohle, J.: Investigation of PA-CVD of TiN: relations between process parameters, spectroscopic measurements and layer properties. In: Surface and Coatings Technology 60 (1993), S. 385–388

    Article  Google Scholar 

  90. Rie, K. T.; Gebauer, A., Wohle, J. u. a.: Synthesis of TiN/ TiCN/ TiC layer systems on steel and cermet substrates by PACVD. In: Surface and Coatings Technology 74-75 (1993), S. 375–381

    Article  Google Scholar 

  91. Röders, E.: Schmiermittelfreies Druckgießen. In: Schmiermittelarme Fertigung und Anwendungen. VDI-TZ Kolloquium, Düsseldorf (1997), S. 85-91

    Google Scholar 

  92. Rother, B.; Vetter, J.: Plasma-Beschichtungsverfahren und Hartstoffschichten. Leipzig: Dt. Verlag für Grundstoffindustrie, 1992

    Google Scholar 

  93. Rozendaal, H. C. F.; Mittemeijer, E. J.; Collijn, P. F.; Van der Schaaf, P. J.: Met. Trans. 14A (1983), S. 395–399

    Google Scholar 

  94. Rüssel, W. C; Strandberg C; In: Bildstein, H.; Eck, R.; (Hrsg.): Proc 13th Intern Plansee Seminar, Reutte/Tirol Vol. 3 (1993) S. 182

    Google Scholar 

  95. Seith, W.: Diffusion in Metallen. 2. Aufl. Berlin: Springer, 1955

    Book  Google Scholar 

  96. Li Shizhi; Huang Wu; Yang Hongshun u. a.: Plasma Chemical Vapour Deposition of TiN. In: Plasma Chemistry and Plasma processing 4 (1984) Nr. 3, S. 147–161

    Article  Google Scholar 

  97. Li Shizi; Zhao Cheng; Shi Yulong u. a.: The Deposition of TiN Coatings by Plasma Chemical Vapour Deposition and its Application. (1987) Proc. 10th Intern. Conf. on CVD, S. 1233-1244

    Google Scholar 

  98. Li Shizi; Hongshun, Y.: Highly Orientied TiN Films Deposited By R. F. Plasma-CVD. In: ISPC, Eindhoven (1985), S. 68-73

    Google Scholar 

  99. Sirvio, E. H. Sulonen, M.: Abrasive wear of ion-plated titanium nitride coatings on plasma-nitrided steel surfaces, Thin Solid Films 96 (1982), S. 93–101

    Article  Google Scholar 

  100. Spies, H.-J.: Stand und Entwicklung des kontrollierten Gasnitrierens. In: Neue Hütte 36 (1991) Nr7, S. 255–262.

    Google Scholar 

  101. Spies, H.-J.; Hoeck, K.; Broszeit, E.: PVD hard coatings on prenitrided low alloy steel. In: Surface and Coatings Technology 62 (1993), S. 441–445

    Article  Google Scholar 

  102. Spies, H.-J.; Hoeck, K.; Larisch, B.: Duplex-Randschichten der Verfahrenskombination Nitrieren-Hartstoffbeschichten. In: Härterei Technische Mitteilungen 51 (1996) Nr. 4, S. 222–231

    Google Scholar 

  103. Stadibauer, J.: Abscheidung von TiN-Hartstoffschichten beim plasmaunterstützten Beschichtungsprozeß aus der Gasphase (Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition-PACVD). Stuttgart, Universität, Institut für industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb, Studienarbeit, 1994.

    Google Scholar 

  104. Stelzer, R.; Deutscher, O.: Verschleißschutz von Stahl. Düsseldorf: VDI-Verlag, 1983

    Google Scholar 

  105. Sudarshan, T. S.: Surface Modification Technologies; New York, Basel: Marcel Dekker, Inc., 1989

    Google Scholar 

  106. Sun, Y.; Bell, T.: Plasma surface engineering of a lows alloy steel. In: Materials Science and Engineering A 140 (1991), S. 419–434

    Article  Google Scholar 

  107. Sun, Y.; Bell, T.: Combined Plasma Nitriding and PVD Treatments. In: Trans. Inst. Metal Finish 70 (1992) Nr. 1, S. 38–44

    Google Scholar 

  108. Tibbets, G.G.: Role of Nitrogen Atoms in Ion Nitriding. In: J. Appl. Phys. 45 (1974), S. 5072–5073

    Article  Google Scholar 

  109. Vetter, J.; Liebe, S.: Vermeidung von Schmierstoffen in Gelenklagern durch PVD-Beschichtung. In: Schmiermittelarme Fertigung und Anwendungen. VDI-TZ Kolloquium, Düsseldorf (1997), S. 93-103

    Google Scholar 

  110. Wahl, G.: Abscheidung aus der Gasphase. In: Frey, H.: Vakuumbeschichtung 2. Verfallen und Anlagen. Düsseldorf: VDI-Verlag GmbH, 1995

    Google Scholar 

  111. Wierzchon, T.; Michalski, J.; Rudnicki, J.: Properties of composite layers produced on stainless steel under glow discharge conditions. In: Material Science and Engineering, A 140 (1991), S. 505–509

    Article  Google Scholar 

  112. Wilhelm, J.: Charakteristik des Plasmazustandes. In: Rutscher, A.; Deutsch, H.: Plasmatechnik. München, Wien: Hanser, 1984

    Google Scholar 

  113. Zlatanovic, M.; Münz, W.D.: Wear resistance of plasma nitrided and sputter ion plated hobs. In: Surface and Coatings Technology, 41 (1990), S. 17–30

    Article  Google Scholar 

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  1. Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Deutschland

    Dr.-Ing. Oliver Morlok

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Morlok, O. (1998). Literatur. In: Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf. IPA-IAO — Forschung und Praxis, vol 268. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-06656-0_8

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