Zusammenfassung
Als Material für Halbleiterbauelemente und integrierte Schaltungen spielt das Element Silizium die wichtigste Rolle: Mikroprozessoren, Speicherchips und Logikschaltungen sowie die anwendungsspezifischen Schaltkreise werden nahezu ausschließlich im Siliziumsubstrat hergestellt. Auch die Leistungshalbleiter wie Thyristoren und ein großer Teil der Einzeltransistoren bzw. Dioden sind aus diesem Element gefertigt.
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© 1996 B. G. Teubner Stuttgart
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Hilleringmann, U. (1996). Herstellung von Siliziumscheiben. In: Silizium-Halbleitertechnologie. Teubner Studienskripten (TSS). Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-663-05853-3_2
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-663-05853-3_2
Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
Print ISBN: 978-3-519-00149-2
Online ISBN: 978-3-663-05853-3
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