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Silizium-Halbleitertechnologie

  • Ulrich Hilleringmann

Part of the Teubner Studienskripten (TSS) book series (TSTT)

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages N2-XI
  2. Ulrich Hilleringmann
    Pages 1-3
  3. Ulrich Hilleringmann
    Pages 4-22
  4. Ulrich Hilleringmann
    Pages 23-35
  5. Ulrich Hilleringmann
    Pages 36-54
  6. Ulrich Hilleringmann
    Pages 55-77
  7. Ulrich Hilleringmann
    Pages 78-105
  8. Ulrich Hilleringmann
    Pages 106-124
  9. Ulrich Hilleringmann
    Pages 125-138
  10. Ulrich Hilleringmann
    Pages 139-148
  11. Ulrich Hilleringmann
    Pages 149-177
  12. Ulrich Hilleringmann
    Pages 178-213
  13. Ulrich Hilleringmann
    Pages 214-226
  14. Ulrich Hilleringmann
    Pages 227-253
  15. Back Matter
    Pages 254-281

About this book

Keywords

Aluminium Epitaxie Halbleiter Halbleitertechnologie Modellierung Montage Optimierung Physik Plasmaätzen Technik Technologie Ultraschall Verfahren Zuverlässigkeit

Authors and affiliations

  • Ulrich Hilleringmann
    • 1
  1. 1.Universität DortmundDeutschland

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-663-05853-3
  • Copyright Information Vieweg+Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, Wiesbaden 1996
  • Publisher Name Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-519-00149-2
  • Online ISBN 978-3-663-05853-3
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