Zusammenfassung
Der Beitrag beschreibt die Entwicklung und Umsetzung eines simulationsgestützten Optimierungssystems für den Backendbereich eines Halbleiterherstellers. Typisch für eine Halbleiterfertigung ist ein breites Produktspektrum mit Produkten aus unterschiedlichen Produktlebenszyklen. Daraus folgen unterschiedliche Zielanforderungen für einzelne Prozessschritte bzw. Produkte die darüber hinaus durch Marktschwankungen einer starken zeitlichen Dynamik ausgesetzt sind. Da insbesondere im Backend-Bereich ein Höchstmaß an (Ablauf-) Flexibilität gefordert ist, ist ein simulationsgestütztes Scheduling-System gegenüber einer auf starren Regeln basierenden Steuerung im Vorteil. Im Ergebnis des Projekts entstand eine Software, die in der Fertigung im 7 ´ 24-Regime eingesetzt wurde.
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Literatur
Gupta AK, Sivakumar AL (2002) Semiconductor manufacturing: simulation based multiobjective schedule optimization in semiconductor manufacturing. In: Proceedings of the 2002 winter simulation conference on, S 1862–1870
Hopp WJ, Spearman ML (2001) Factory physics. McGraw-Hill/Irwin, New York
Horn S, Weigert G, Beier E (2006a) Heuristic optimization strategies for scheduling of manufacturing processes. In: Proceedings of the 29th international spring seminar on electronics technology, S 422–427
Horn S, Weigert G, Werner S, Jähnig T (2006b) Simulation based scheduling system in a semiconductor backend facility. In: Proceedings of the 2006 winter simulation conference, S 1741–1748
Klemmt A, Weigert G (2008) 3D-Visualisierung heuristischer Optimierungsalgorithmen. In: Proceedings of the 19th simulation and visualization conference, S 167–180
Klemmt A, Horn S, Beier E, Weigert G (2007) Investigation of modified heuristic algorithms for simulation-based optimization. In: Proceedings of the 30th international spring seminar on electronics, S 24–29
Potoradi J, Boon OS, Mason SJ, Fowler JW, Pfund ME (2002) Semiconductor manufacturing: using simulation-based scheduling to maximize demand fulfillment in a semiconductor assembly facility. In: Proceedings of the 2002 winter simulation conference, S 1857–1861
Sivakumar AL (1999) Optimization of cycle time and utilization in semiconductor test manufacturing using simulation based, on-line near-real-time scheduling system. In: Proceedings of the 1999 winter simulation conference, S 727–735
Weigert G, Horn S, Werner S (2005) Optimization of manufacturing processes by distributed simulation. In: Proceedings of the 18th international conference on production research
Weigert G, Horn S, Jähnig T, Werner S (2006) Automated creation of DES models in an industrial environment. In: Proceedings of the 16th international conference on flexible automation and intelligent manufacturing, S 311–318
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Klemmt, A., Horn, S., Weigert, G. (2011). Simulationsgestützte Optimierung von Fertigungsprozessen in der Halbleiterindustrie. In: März, L., Krug, W., Rose, O., Weigert, G. (eds) Simulation und Optimierung in Produktion und Logistik. VDI-Buch(). Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-14536-0_6
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