Zusammenfassung
Als Ausgangsmaterial für Halbleiterbauelemente und integrierte Schaltungen hat das Element Silizium die größte Bedeutung erlangt: Mikroprozessoren, Speicherchips und Logikschaltungen sowie die anwendungsspezifischen Schaltkreise (ASIC) werden nahezu ausschließlich im Siliziumsubstrat hergestellt. Auch Leistungshalbleiter wie Thyristoren und ein großer Teil der Einzeltransistoren bzw. Dioden sind aus diesem Element gefertigt.
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© 2002 B. G. Teubner Stuttgart/Leipzig/Wiesbaden
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Hilleringmann, U. (2002). Herstellung von Siliziumscheiben. In: Silizium-Halbleitertechnologie. Silizium-Halbleitertechnologie. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94119-0_2
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-94119-0_2
Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
Print ISBN: 978-3-519-20149-6
Online ISBN: 978-3-322-94119-0
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