Zusammenfassung
Die Entwicklung der Mikroelektronik — von den ersten integrierten Schaltungen bis hin zu Speicherbausteinen mit einer Kapazität von 4 Gbit/Chip — demonstriert die Leistungsfähigkeit der Halbleitertechnologie in eindrucksvoller Weise. Strukturgrößen von 120 nm Weite, die noch vor wenigen Jahren mit optischer Lithografietechnik als unerreichbar galten, werden zurzeit in der Produktion eingesetzt. Ein Ende der Miniaturisierung ist bislang nicht absehbar /1/.
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© 2002 B. G. Teubner Stuttgart/Leipzig/Wiesbaden
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Hilleringmann, U. (2002). Einleitung. In: Silizium-Halbleitertechnologie. Silizium-Halbleitertechnologie. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94119-0_1
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-94119-0_1
Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
Print ISBN: 978-3-519-20149-6
Online ISBN: 978-3-322-94119-0
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