Zusammenfassung
Als Ausgangsmaterial für Halbleiterbauelemente und integrierte Schaltungen hat das Element Silizium die größte Bedeutung erlangt: Mikroprozessoren, Speicherchips und Logikschaltungen sowie die anwendungsspezifischen Schaltkreise (ASIC) werden nahezu ausschließlich im Siliziumsubstrat hergestellt. Auch Leistungshalbleiter wie Thyristoren und ein großer Teil der Einzeltransistoren bzw. Dioden nutzen dieses Element.
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© 2004 B.G. Teubner Verlag / GWV Fachverlage GmbH, Wiesbaden
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Hilleringmann, U. (2004). Herstellung von Siliziumscheiben. In: Silizium-Halbleitertechnologie. Teubner Studienskripten Soziologie. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94072-8_2
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-94072-8_2
Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
Print ISBN: 978-3-519-30149-3
Online ISBN: 978-3-322-94072-8
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