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- Umfassende Darstellung der Fertigungsverfahren bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen.
Part of the book series: Teubner Studienbücher Technik (TSTT)
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"Ulrich Hilleringmann ist mit seinem (...) Buch genau dies gelungen: die komplexe und umfangreiche Materie präzise und doch stets verständlich darzustellen."
Elektronik, 11/2003
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Elektronik, 11/2003
Authors and Affiliations
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Paderborn, Deutschland
Ulrich Hilleringmann
About the author
Bibliographic Information
Book Title: Silizium-Halbleitertechnologie
Authors: Ulrich Hilleringmann
Series Title: Teubner Studienbücher Technik
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-94072-8
Publisher: Vieweg+Teubner Verlag Wiesbaden
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eBook Packages: Springer Book Archive
Copyright Information: Springer Fachmedien Wiesbaden 2004
eBook ISBN: 978-3-322-94072-8Published: 09 March 2013
Edition Number: 4
Number of Pages: IX, 326
Number of Illustrations: 279 b/w illustrations
Topics: Electronics and Microelectronics, Instrumentation, Electrical Engineering