Silizium-Halbleitertechnologie

  • Ulrich Hilleringmann

Part of the Teubner Studienskripten Soziologie book series (TSTT)

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-XIII
  2. Ulrich Hilleringmann
    Pages 1-4
  3. Ulrich Hilleringmann
    Pages 5-24
  4. Ulrich Hilleringmann
    Pages 25-38
  5. Ulrich Hilleringmann
    Pages 39-64
  6. Ulrich Hilleringmann
    Pages 65-90
  7. Ulrich Hilleringmann
    Pages 91-118
  8. Ulrich Hilleringmann
    Pages 119-137
  9. Ulrich Hilleringmann
    Pages 138-159
  10. Ulrich Hilleringmann
    Pages 160-170
  11. Ulrich Hilleringmann
    Pages 171-202
  12. Ulrich Hilleringmann
    Pages 203-247
  13. Ulrich Hilleringmann
    Pages 248-261
  14. Ulrich Hilleringmann
    Pages 262-289
  15. Back Matter
    Pages 290-326

About this book

Introduction

Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen 100 nm gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht des Anwenders erläutert. Das Buch behandelt neben den Grundlagen auch die technische Durchführung der Einzelprozesse zur Integrationstechnik. Zur weiteren Verdeutlichung des Stoffes wurden in der 4. Auflage Abbildungen und vor allem weitere Übungsaufgaben ergänzt.
"Ulrich Hilleringmann ist mit seinem (...) Buch genau dies gelungen: die komplexe und umfangreiche Materie präzise und doch stets verständlich darzustellen."
Elektronik, 11/2003

Keywords

Chip Chipherstellung Elektronik Halbleiter Halbleitertechnologie Integration Metall Schaltung Silizium viewegteubner

Authors and affiliations

  • Ulrich Hilleringmann
    • 1
  1. 1.PaderbornDeutschland

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-322-94072-8
  • Copyright Information Vieweg+Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, Wiesbaden 2004
  • Publisher Name Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-519-30149-3
  • Online ISBN 978-3-322-94072-8
  • About this book
Industry Sectors
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Oil, Gas & Geosciences