Einleitung

Zusammenfassung

Die Entwicklung der Mikroelektronik — von den ersten integrierten Schaltungen bis hin zu Speicherbausteinen mit einer Kapazität von 256 Mbit/Chip — demonstriert die Leistungsfähigkeit der Halbleitertechnologie in eindrucksvoller Weise. Strukturgrößen von 250 nm Weite, die noch vor wenigen Jahren mit optischer Lithografietechnik als unerreichbar galten, werden zurzeit in der Produktion eingesetzt. Ein Ende der Miniaturisierung ist nicht absehbar.