Modellierung von qualitäts- und effektivitätsbestimmenden Mechanismen beim Laserabtragen

  • Gert Callies

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages i-9
  2. Gert Callies
    Pages 11-18
  3. Gert Callies
    Pages 41-59
  4. Gert Callies
    Pages 101-102
  5. Gert Callies
    Pages 103-109
  6. Back Matter
    Pages 111-120

About this book

Introduction

Aus dem Inhalt Einführung: Ausgangslage - Phänomenologische Beschreibung des Laserabtragens - Qualität und Effektivität des Laserabtragens - Zielsetzung der Arbeit - Gliederung der Arbeit Modellierung des strukturierenden Abtrags: Dreidimensionales Abtragsmodell - Gültigkeitsgrenzen des Modells Qualitätsbestimmende Mechanismen beim Strukturieren: Einfluß der Vielfachreflexion beim Abtragen mit Excimerlaser ohne Werkstückvorschub -Strukturierung durch Abtrag mit Vorschub und variabler Maskengeometrie - Synopsis Simulation der Materialdampfexpansion: Phänomenologische Beschreibung der Expansion - Physikalische Formulierung der Expansion des verdampften Materials - Lösung mit dem Finite-Differenzen-Verfahren - Ergebnisse der Simulationsrechnungen - Synopsis Wechselwirkungsmechanismen im Materialdampf: Inverse Bremsstrahlung - Mie - Streuung - Auswirkung der Wechselwirkungsmechanismen auf die Materialdampfexpansion - Synopsis Effektivitätsbestimmende Faktoren ermittelt durch ganzheitliche Betrachtungsweise: Einfluß der Laserparameter auf die Effektivität - Einfluß des Umgebungsgases auf die Effektivität - Synopsis Zusammenfassung und Ausblick Literatur Anhang: Werkstoffeigenschaften / Dissoziation und Ionisation / Diskretisierung der Eulergleichungen / Explizite Berechnung des komplexen Brechungsindexes / Kritischer Radius, minimale Energie, Clusterdichte.

Keywords

Abtragen Arbeit Entwicklung Excimerlaser Fertigung Industrie Laser Medizintechnik Modellierung Physik Qualität Simulation Systeme Verfahren Werkstoff

Authors and affiliations

  • Gert Callies
    • 1
  1. 1.Universität StuttgartDeutschland

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-663-01144-6
  • Copyright Information Vieweg+Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, Wiesbaden 1999
  • Publisher Name Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-519-06245-5
  • Online ISBN 978-3-663-01144-6
  • Series Print ISSN 1616-0770
  • About this book
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