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Modellierung von qualitäts- und effektivitätsbestimmenden Mechanismen beim Laserabtragen pp 103–109Cite as

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Literatur

  1. Anisimov, S.I.: Vaporization of metal absorbing laser radiation. S.v. Phys. JETP 27, 1 (1968), S. 182–183.

    Google Scholar 

  2. Anisimov, S.I.; Rakhmatulina, A.KH.: The dynamics of the expansion of a vapor when evaporated into a vacuum. Sov. Phys. JETP 37, 3 (1973), S. 441–444.

    Google Scholar 

  3. Prokhorov, A.M.; Batanov, V.A.; Bunkin, F.V.; Fedorov, V.B.: Metal evaporation under powerful optical radiation. IEEE J. of Quantum Electronics 9, 5 (1973), S. 503–509.

    Article  Google Scholar 

  4. Knight, C.J.: Theoretical modeling of rapid surface vaporization with back pressure. AIAA Journal 17, 5 (1979), S. 519–523.

    Article  Google Scholar 

  5. Miller, J.C.: Laser Ablation - Principles and Applications. Springer Verlag, Berlin, 1994.

    Google Scholar 

  6. Chan, C.L.; Mazumder, J.: One-dimensional steady-state model for damage by vaporization and liquid expulsion due to laser-material interaction. J. Appl. Phys. 62, 11 (1987), S. 4579–4586.

    Google Scholar 

  7. Aden, M.; Beyer, E.; Herziger, G.: Laser-induced vaporisation of metal as a Riemann problem. J. Phys. D: Appl. Phys. 23 (1990), S. 655–661.

    Article  Google Scholar 

  8. Aden, M.; Beyer, E.; Herziger, G.; Kunze, H.: Laser-induced vaporisation of a metal surface. J. Phys. D: Appl. Phys. 25 (1992), S. 57–65.

    Google Scholar 

  9. Smurov, I.; Aksenov, L.; Flamant G.: Melt removal in pulsed laser action of millisecond range. In: Proc. of the Laser Materials Processing Symposium ICALEO’93, Orlando (FI): Laser Institute of America (LIA) 77 (1993), S.242–249.

    Google Scholar 

  10. Luk’yanchuk, B.; Bityurin, N.; Anisimov, S.; Bäuerle, D.: The role of excited species in UV-laser materials ablation, Part I. Photophysical ablation of organic polymers. Appl. Phys. A 57 (1993), S. 367–374.

    Google Scholar 

  11. Luk’yanchuk, B.; Bityurin, N.; Anisimov, S.; Bäuerle, D.: The role of excited species in UV-laser materials ablation, Part II. The stability of the ablation front. Appl. Phys. A 57 (1993), S. 449–455.

    Google Scholar 

  12. Mazhukin, V.I.; Samarskh: Mathematical modeling in the technology of laser treatments of materials. Surv. Math. Ind. 4 (1994), S. 85.

    MathSciNet  MATH  Google Scholar 

  13. Qiu, T.Q.; Tien, C.L.: Heat transfer mechanisms during short-pulse laser heating of metals. J. of Heat Transfer 115 (1993), S. 835.

    Article  Google Scholar 

  14. Körner, C., H.W.: Thermal and mechanical aspects in short pulse laser interaction with metals. In: Proc. of the 6th European Conference on Laser Treatment of Materials ECLAT’96, eds.: F. Dausinger, H.W. Bergmann, J. Sigel (1996), S. 585.

    Google Scholar 

  15. Hüttner, B., G.C.: An extended two temperature model — a new approach for the laser metal interaction. In: Proc. of the 6th European Conference on Laser Treatment of Materials ECLAT’96, eds.: F. Dausinger, H.W. Bergmann, J. Sigel (1996), S. 595.

    Google Scholar 

  16. Kelly, R.; Miotello, A.: Comments on explosive mechanisms of laser sputtering. Appl. Surf. Science 96–98 (1996), S. 205–215.

    Article  Google Scholar 

  17. Zel’dovich, YA.B.; Raizer, Yu.P.: Physics of shock waves and high—temperature hydrodynamic phenomena. Band I, Academic Press, New York, San Francisco, London, 1996.

    Google Scholar 

  18. Aden, M.; Kreutz, E.W; Voss, A.: Laser—induced plasma formation during pulsed laser deposition. J. Phys. D: Appl. Phys. 26 (1993), S. 1545–1553.

    Article  Google Scholar 

  19. Poprawe, R.: Materialabtragung und Plasmaformation im Strahlungsfeld von UV—Lasern. Technische Hochschule Darmstadt, Dissertation, 1984.

    Google Scholar 

  20. Srinivasan, R.; Braren, B.: Ultraviolett laser ablation of organic polymers. Chem. Rev. 89 (1989), S. 1303.

    Article  Google Scholar 

  21. Bütje, R.: Abtragen von Metallen mit Excimer—Lasern als Verfahren zur Mikrobearbeitung. VDI—Verlag GmbH, Düsseldorf, 1992.

    Google Scholar 

  22. Williams, S.W.; Marsden, P.J.; Roberts, N.C.; Sidhu, J.; Venables, M.A.: Excimer laser beam shaping and material processing using diffractive optics. In: Proc. of the 11th International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers GCL/HPL’96, Edinburgh, UK, eds.: D.R. Hall und H.J. Baker, SPIE 3092 (1997), S.431–434.

    Google Scholar 

  23. Müller, M.: Modellierung des Abtrags von dünnen Metallschichten auf Substraten mit geringer Wärmeleitfähigkeit. Universität Stuttgart, Studienarbeit, IFSW 97–5, 1997.

    Google Scholar 

  24. Arnold, J.M.: Abtragen metallischer und keramischer Werkstoffe mit Excimerlasern. Universität Stuttgart, Dissertation. In: Laser in der Materialbearbeitung, Forschungsberichte des IFSW. B.G. Teubner Verlag, Stuttgart, 1994.

    Google Scholar 

  25. Schittenhelm, H.; Callies, G.; Berger, P.; Hügel, H.: Investigations of extinction coefficients during excimer laser ablation and their interpretation in terms of Rayleigh scattering. J. Phys. D: Appl. Phys. 29 (1996), S. 1564–1575.

    Article  Google Scholar 

  26. Callies, G.; Schittenhelm, H.;Dausinger, F.; Berger, P.; Hügel, H.: Time resolved diagnostics of energy—coupling during material processing with excimer lasers. In: Proc. of the EUROPTO’94, Frankfurt, eds.: R-J. Ahlers, P. Hoffmann, H. Lindl, R. Rothe, SPIE 2246 (1994), S.126–135.

    Google Scholar 

  27. Sedov, L.I.: Similarity and dimensional methods in mechanics. Cleaver Hume Press, London, 1959.

    MATH  Google Scholar 

  28. Callies, G.; Berger, P.; Hügel, H.: Time—resolved observation of gas—dynamic discontinuities arising during excimer laser ablation and their interpretation. J. Phys. D: Appl. Phys. 28 (1995), S. 794–806.

    Article  Google Scholar 

  29. Emminger, H.: Experimentelle Bestimmung des reflektierten Energieanteils beim Excimerlaserabtragen mittels Ulbrichtkugel. Universität Stuttgart, Studienarbeit, IFSW 96–43, 1996.

    Google Scholar 

  30. Köper, S.; Brannon, J.: Ambient gas effects on debris formed during KrF laser ablation of polyimide. Appl. Phys. Lett. 60, 13 (1992), S. 1633.

    Article  Google Scholar 

  31. Tönshoff, H.K.; Hesse, D.; Gonschoir, M.: Microstructuring with excimer lasers and reduction of deposited ablation products using a special gas nozzle with vacuum system: In: Proc. of the Laser Materials Processing Symposium ICALEO’94. Orlando (FI): Laser Institute of America (LIA) 79 (1994), S.333.

    Google Scholar 

  32. Callies, G.; Berger, P.; Kästle, J.;Hügel, H.: Excimer—laser induced shock waves in the presence of external gas flows. In: Proc. of the 10th International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers GCL’94, Friedrichshafen, eds.: W.L. Bohn, H. Hügel, SPIE 2502 (1995), S.706–711.

    Google Scholar 

  33. Matsunawa, A.; Yoshida, H.; Katayama, S.: Beam—plume interaction in pulsed YAG—laser processing. In: Proc. of the Laser Materials Processing Symposium ICALEO’84, Orlando ( FI ): Laser Institute of America (LIA) (1984), S. 35.

    Google Scholar 

  34. Miyamoto, I.; Maeda, A.; Maruo, H.: Extremely efficient production of ultra—fine particles in excimer laser ablation. In: Proc. of the Laser Materials Processing Symposium ICALEO’94, Orlando (FI): Laser Institute of America (LIA) 79 (1994), S.249.

    Google Scholar 

  35. Eggins, S.M.; Kinsley, L.K.; Shelley, J.M.: Deposition and element fractionation processes occuring during atmospheric pressure laser sampling for analysis by ICPMS. Appl. Surf. Sci., wird im März 1998 veröffentlicht.

    Google Scholar 

  36. Modest, M.F.; Abakians, H.: Heat conduction in a moving semi—infinite solid subjected to pulse laser irradiation. J. Heat Transfer 108 (1986), S. 597.

    Article  Google Scholar 

  37. Ramanathan, S.; Modest, M.F.: CW laser drilling of composite ceramics. In: Proc. of the Laser Materials Processing Symposium ICALEO’91, San Jose (CA): Laser Institute of America (LIA) 75 (1992), S.305.

    Google Scholar 

  38. Ramanathan, S.; Modest, M.F.: CW laser cutting of composite ceramics. In: Proc. of the Laser advanced materials processing LAMP’92, Nagaoka: (1992), S.625.

    Google Scholar 

  39. Roy, S.; Modest, M.F.: Three—dimensional conduction effects during evaporative scribing with a cw laser. J. Thermoph. Heat Transfer 4 (1990), S. 199.

    Article  Google Scholar 

  40. Bang, S.Y.; Modest, M.F.: Multiple reflection effects on evaporative cutting with a moving cw laser. J. Heat Transfer 113, 3 (1991), S. 663.

    Article  Google Scholar 

  41. Diniz Neto, O.O.; Lima, C.A.S.: Nonlinear three—dimensional temperature profiles in pulsed laser heated solids. J. Phys. D: Appl. Phys. 27 (1994), S. 1795–1804.

    Article  Google Scholar 

  42. Lax, M.: Temperature rise induced by a laser beam. J. of Appl. Phys. 48,9 (1977), S. 3919.

    Google Scholar 

  43. Lax, M.: Temperature rise induced by a laser beam II. The nonlinear case. Appl. Phys. Lett. 33,8 (1978), S. 786.

    Google Scholar 

  44. Modest, M.F.; Ramanathan, S.; Raiber, A.; Angstenberger, B.: Laser machining of ablating materials - overlapped grooves and entrance/exit effects. In: Proc. of the Laser Materials Processing Symposium ICALEO’94, Orlando (FI): Laser Institute of America (LIA) 79 (1994) S.303.

    Google Scholar 

  45. Callies, G.; Schittenhelm, H.; Berger, P., H.: Simulation des Laserabtragens mit 3D-Wärmeleitungsmodell. In: Proc. of the 6th European Conference on Laser Treatment of Materials (ECLAT), eds.: F. Dausinger, H.W. Bergmann, J. Sigel (1996), S. 613.

    Google Scholar 

  46. Callies, G.; Schittenhelm, H.; Berger, P.; Hügel, H.: Modeling and simulation of short pulse laser ablation with feeding speed. In: Proc. of the second Laser Assisted Net Shape Engineering LANE’97, Erlangen, eds.: M. Geiger, F. Vollertsen (1997), S. 825.

    Google Scholar 

  47. Mazhukin, V.I.; Smurov, I.; Flamant, G.: Overheated metastable states in pulsed laser action on ceramics. J. Appl. Phys. 78, 2 (1995), S. 1259–1270.

    Article  Google Scholar 

  48. Matthias, E.; Reichling, M.; Siegel, J.; Kading, O.W.; Petzoldt, S.; Skurk, H.; Bizenberger, P.; Neske, E.: The influence of thermal diffusion on laser ablation of metal films. Appl. Phys. A 58 (1994), S. 129–136.

    Article  Google Scholar 

  49. Scheurich, J.: Schmelzbadbewegung von Metallen bei Excimerlaserbeschuß. Universität Stuttgart, Diplomarbeit, IFSW 94–16, 1994.

    Google Scholar 

  50. Modest, M.F.: TRANS3D - Laser machining of ablating/decomposing materials - a transient, three-dimensional computer code using boundary-fitted coordinates. Users’s Manual, Institut für Strahlwerkzeuge, 1994, (unveröffentlicht).

    Google Scholar 

  51. Modest, M.F.: Radiative heat transfer. McGraw-Hill, Inc. New York, 1993.

    Google Scholar 

  52. Dausinger, F.: Strahlwerkzeug Laser: Energieeinkopplung und Prozeßeffektivität. Universität Stuttgart, Habilitationsschrift. In: Laser in der Materialbearbeitung, Forschungsberichte des IFSW. B.G. Teubner Verlag, Stuttgart, 1995.

    Google Scholar 

  53. Mayerhofer, R.: Mikromaterialbearbeitung mit Kupferdampfiasern. Universität Erlangen-Nürnberg, Dissertation, 1997.

    Google Scholar 

  54. Van Horn, K.R.: Aluminum Vol. I: Properties, physical metallurgy and phase diagrams. American Society for Metals, Ohio.

    Google Scholar 

  55. Schmidt, J.: Kombination von Vorschub und Maskengeometrie zur Fertigung von dreidimensionalen Strukturen mit einem Excimerlaser. Universität Stuttgart, Große Studienarbeit, IFSW 94–51, 1995.

    Google Scholar 

  56. Rebhan, T.: Beitrag zur Mikromaterialbearbeitung mit Excimerlasern - Systemkomponenten und Verfahrensoptimierung. Universität Erlangen-Nürnberg, Dissertation. In: Reihe Fertigungstechnik Erlangen. Meisenbach Verlag, Bamberg, 1996.

    Google Scholar 

  57. Unverdi, S.O.; Tryggvason, G.: A front-tracking method for viscous, incompressible, multi fluid flows. J. of Computational Phys. 100 (1992), S. 25–37.

    Article  MATH  Google Scholar 

  58. Lafaurie, B.; Nardone, C.; Scardovelli, R.; Zaleski, S.; Zanetti, G.: Modelling merging and fragmentation in multiphase flows with SURFER. J. of Computational Phys. 113 (1994), S. 134–147.

    Article  MathSciNet  MATH  Google Scholar 

  59. Bergmann; Schäfer: Lehrbuch der Experimentalphysik, Band IV Teil 2, Walter de Gruyter, Berlin, New York, 1980.

    Google Scholar 

  60. Haken, H.; Wolf, H.C.: Molekülphysik und Quantenchemie. Springer Verlag, Berlin, 1992.

    Google Scholar 

  61. Aden, M.: Plasmadynamik beim laserinduzierten Verdampfungsprozefi einer ebenen Metalloberfläche RWTH Aachen, Dissertation, Shaker Verlag, Aachen, 1994.

    Google Scholar 

  62. Crout, D.: An application of kinetic theory to the problem of evaporation and sublimation of monoatomic gases. J. Math. Phys. 15 (1936), S. 1–54.

    MATH  Google Scholar 

  63. Holzwarth, A.: Ausbreitung und Dämpfung von Stoßwellen in Excimerlasern. Universität Stuttgart, Dissertation. In: Laser in der Materialbearbeitung, Forschungsberichte des IFSW. B.G. Teubner Verlag Stuttgart, 1994.

    Google Scholar 

  64. Berger, P.; Holzwarth, A.: Grundlegende wissenschaftliche Untersuchungen zur Dämpfung von Dichtestörungen in Excimerlasern hoher Leistung. Abschlußbericht zum EUREKA-Verbundprojekt: EUROLASER: “High Power Excimer Lasers” (EU205) Phase II, Förderkennzeichen: 13 EU 00810. Stuttgart: Institut für Strahlwerkzeuge (IFSW), Universität Stuttgart, IFSW 93–28, 1993.

    Google Scholar 

  65. Jacoby, H.: Entwicklung eines theoretischen Modells zur Beschreibung der Wechselwirkung zwischen elektrischer Entladung und Überschallströmung eines gepulsten CO-Lasers. Universität Stuttgart, Dissertation, 1984.

    Google Scholar 

  66. Courant, R.; Friedrichs, K.; Lewy, H.: Ober die partiellen Differenzengleichungen der Mathematischen Physik. Mathematische Annalen 100 (1928), S. 32–74.

    Article  MathSciNet  MATH  Google Scholar 

  67. Pirri, N.: Theory of momentum transfer to a surface with a high-power laser. The physics of fluids 16, 9 (1973), S. 1435.

    Article  Google Scholar 

  68. Kästle, J.: Einfluß eines Querjets auf die laserinduzierten gasdynamischen Vorgänge beim Abtragen mit einem Excimerlaser Universität Stuttgart, Diplomarbeit, IFSW 94–19, 1995.

    Google Scholar 

  69. Schittenhelm, H.; Callies, G.; Berger, P.; Hügel, H.: Two wavelengths interferometry of excimer laser induced vapour/plasma plumes during the laser pulse. Zur Veröffentlichung in Appl. Surf. Sci. eingereicht.

    Google Scholar 

  70. Callies, G.; Schittenhelm, H.; Berger, P.; Hügel, H.: Clusterwachstum in Plasma/ Dampf-Wolken beim Abtragen mit Kurzpulslasern. In: Verhandlungen der DPG (VI) 32, K 5.6 (1997) (Frühjahrstagung Mainz 3.-6.3. 1997 ), S. 219.

    Google Scholar 

  71. Landau, L.D.; Lifschitz, E.M.: Lehrbuch der theoretischen Physik: Hydrodynamik Band VI, Akademie Verlag GmbH, Berlin, 1991.

    Google Scholar 

  72. Callies, G.: Experimentelle Untersuchungen der physikalischen Wechselwirkung zwischen Material und Laserstrahl beim Abtragen mit gepulsten Hochleistungslasern. Universität Stuttgart, Diplomarbeit, IFSW 93–29, 1993.

    Google Scholar 

  73. Aden, M.; Kreutz, E.W.; Schlüter, H.; Wissenbach, K.: The applicability of the Sedov—Taylor scaling during material removal of metals and oxide layers with pulsed CO2 and excimer laser radiation. J. Phys. D: Appl. Phys 30 (1997), 5. 980–989.

    Article  Google Scholar 

  74. Mulser, P.; Sigel, R.; Witkowski, S.: Plasma production by laser. Physics Reports (Section C of Physics Letters) 6, 3 (1973), S. 187–239.

    Google Scholar 

  75. Greiner, W.: Theoretische Physik III: Klassische Elektrodynamik. 4. Auflage, Verlag Harri Deutsch, Thun, Frankfurt, 1986.

    Google Scholar 

  76. Tannenbaum, B.S.: Plasma Physics. McGraw-Hill, New York, 1967.

    Google Scholar 

  77. Schittenhelm, H.; Callies, G.; Straub, A.; Berger, P.; Hügel, H.: Measurements on wavelength dependent transmission in excimer laser-induced plasma plumes and their interpretation J. Phys. D: Appl. Phys, 31 (1998), S. 418.

    Article  Google Scholar 

  78. Kar, A.; Mazumder, J.: Mathematical model for laser ablation to generate nano-scale and submicrometer—size particles. Phys. Rev. E. 49, 1 (1994), S. 410.

    Article  Google Scholar 

  79. Lifshitz, I.M.; Slyozov, V.V.: The kinetics of precipitation from supersaturated solid solutions. J. Phys. Chem. Solids 19, 1 /2 (1961), S. 35.

    Article  Google Scholar 

  80. Frenkel, J.I.: Kinetische Theorie der Flüssigkeiten. VEB Verlag der Wissenschaften, Berlin, 1957.

    MATH  Google Scholar 

  81. Raizer, Yu.P.: Condensation of a cloud of vaporized matter expanding in vacuum. Sov. Phys. JETP 37(10), 6 (1960), S. 1229–1235.

    Google Scholar 

  82. Landau, L.D.; Lifschitz, E.M.: Lehrbuch der theoretischen Physik: Physikalische Kinetik Band X, Akademie Verlag, Berlin, 1986

    MATH  Google Scholar 

  83. Callies, G.; Schittenhelm, H. Berger, P.; Hügel, H.: Modeling of cluster generation in excimer laser induced plasma/ vapour plumes. Zur Veröffentlichung in Thermophysics and Aeronautics eingereicht.

    Google Scholar 

  84. Callies, G.; Schittenhelm, H.; Berger, P.; Hügel, H.: Modeling of the expansion of laser evaporated matter in argon, helium and nitrogen and the influence on condensation of clusters. Zur Veröffentlichung in Appl. Surf. Sci. eingereicht.

    Google Scholar 

  85. Kreibig, U.: Electronic properties of small silver particles: the optical constants and their temperature dependence. J. Phys. F: Metal Phys. 4 (1974), S. 999–1014.

    Article  Google Scholar 

  86. Doremus, R.H.: Optical properties of small silver particles. The J. of Chem. Phys. 42, 1 (1965), S. 414–417.

    Article  Google Scholar 

  87. Eversole, J.D., Broida, H.P.: Size and shape effects in light scattering from small silver, copper, and gold particles. Phys. Rev. B 15, 4 (1977), S. 1644–1655.

    Article  Google Scholar 

  88. Hansen, F.; Duley, W.W.: Attenuation of laser radiation by particles during laser material processing. J. of Laser Application 6 (1994), S. 137–143.

    Article  Google Scholar 

  89. Van DE Hulst, H.C.: Light scattering by small particles. Dover publications, New York, 1981.

    Google Scholar 

  90. Bohren, C.; Huffmann, D.: Absorption and scattering of light by small particles. John Wiley 00000 Sons, New York, 1983.

    Google Scholar 

  91. Straub, A.: Streumechanismen an laserinduzierten Materialdämpfen. Universität Stuttgart, Diplomarbeit, IFSW 96–36, 1996.

    Google Scholar 

  92. Bäuerle, D.: Laser processing and chemistry. 2. Auflage, Springer Verlag, Berlin, 1996.

    Google Scholar 

  93. Miyamoto, I.; Ooie, T.; Hirota, Y.; Maruo, H.: Mechanism of laser ablation — ablation process and debris formation. In: Proc. of the Laser Materials Processing Symposium ICALEO’93, Orlando, (FI): Laser Institute of America (LIA) 77 (1993), S.1.

    Google Scholar 

  94. Witke, T.: Optische Plasmaspektroskopie und Kurzzeituntersuchungen an gepulsten Laser- Bogen- und Kanalfunkenplasmen. Shaker Verlag, Aachen, 1996.

    Google Scholar 

  95. Bulgakov, A.V.; Bulgakova, N.M. Migunov, S.A.: Thermal and plasma absorption effects during 1064 nm laser ablation of solids. Vortrag beim EUROMECH Colloqium 363, Mechnanics of Laser Ablation, 23.-26.6. 1997, Novosibirsk, Rußland.

    Google Scholar 

  96. Holey, C.D.: Computational model of drilling with high radiance pulsed lasers. In: Proc. of the Laser Materials Processing Symposium ICALEO’94, Orlando (FI): Laser Institute of America (LIA) 79 (1994), S.499.

    Google Scholar 

  97. Waibel, A.: Adaption eines FD-Programmes zur Berechnung der laserinduzierten Gasdynamik und eines analytischen Stoßwellenmodells an ein 3D-Laserabtragsmodell. Universität Stuttgart, Studienarbeit, IFSW 97–16, 1997.

    Google Scholar 

  98. Körner, C.: Theoretische Untersuchungen zur Wechselwirkung von ultrakurzen Laserpulsen mit Metallen. Universität Erlangen-Nürnberg, Dissertation, 1997.

    Google Scholar 

  99. Jaschek, R.: Einfluß des Gasdrucks und Charakterisierung der Strahl-Stoff-Wechselwirkungen während der Oberflächen- und Randschichtbehandlung von Metallen mit TEA-CO 2 -Laserstrahlung. Universität Erlangen-Nürnberg, Dissertation, 1995.

    Google Scholar 

  100. Emminger, H.: Untersuchungen effizienzbegrenzender Mechanismen beim Bohren mit Kurzpulslasern. Universität Stuttgart, Diplomarbeit, IFSW 97–27, 1997.

    Google Scholar 

  101. Smithells: Metals reference book. 6th Edition, ed. by E.A. Brandes, Butterwoth, London, 1983.

    Google Scholar 

  102. Lynch, D.W.; Hunter, W.R.: Comments on the optical constants of metals and an introduction to the data for several metals. Handbook of optical constants of solids, Academic Press, 1985.

    Google Scholar 

  103. Smith, D.Y.; Shiles, E.; Inokuti, M.: The optical properties of metallic aluminum. Handbook of optical constants of solids, Academic Press, 1985.

    Google Scholar 

  104. Weaver, J.H.; Krafka, C.; Lynch, D.W.; Koch, E.E.: Optical Properties of Metals. Physik Daten Physics Data, Fachinformationszentrum Energie, Physik Mathematih GmbH, Karlsruhe Nr. 18–1, 1981.

    Google Scholar 

  105. D’ans; Lax, E.: Taschenbuch für Chemiker und Physiker Band I: Makroskopische physikalische-chemische Eigenschaften. Springer Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, 1967.

    Google Scholar 

  106. Gerthsen, Kneser, Vogel: Physik. Springer Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, 1986.

    Google Scholar 

  107. Kindler, H.: Modellierung der Plasmaausbildung in der Dampfkapillare beim Lasertiefschweißen. Universität Stuttgart, Diplomarbeit, IFSW 93–46, 1993.

    Google Scholar 

  108. Beck, M.: Modellierung des Lasertiefschweißens. Universität Stuttgart, Dissertation. In: Laser in der Materialbearbeitung, Forschungsberichte des IFSW. B.G. Teubner Verlag Stuttgart, 1996.

    Google Scholar 

  109. Rose, S.J.: Dense plasma physics. In: Laser-plasma interactions 4, Proc. of the thirty-fifth Scottish Universities Summer School in Physics 1988, eds.: M.B., Hooper, M.B., Edinburgh University Press, gedruckt von Redwood Burn Ltd, Towbridge, 1989, S. 171.

    Google Scholar 

  110. Drawin, H.-W.; Felenbok, P.: Data for plasmas in local thermodynamic equilibrium. Guthier-Villars, Paris, 1965.

    Google Scholar 

  111. Kittel: Einführung in die Festkörperphysik. R. Oldenbourg Verlag, München, 1988.

    Google Scholar 

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  1. Universität Stuttgart, Deutschland

    Dr.-Ing. Gert Callies

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Callies, G. (1999). Literatur. In: Modellierung von qualitäts- und effektivitätsbestimmenden Mechanismen beim Laserabtragen. Laser in der Materialbearbeitung Forschungsberichte des IFSW. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-663-01144-6_8

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  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-663-01144-6_8

  • Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden

  • Print ISBN: 978-3-519-06245-5

  • Online ISBN: 978-3-663-01144-6

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