Skip to main content

Arbeitstechnik im Ultrahochvakuum

  • Living reference work entry
  • First Online:
Handbuch Vakuumtechnik

Part of the book series: Springer Reference Technik ((SRT))

  • 626 Accesses

Zusammenfassung

Es wird zusammengefasst, welche Voraussetzungen zur Erzeugung von Ultrahochvakuum nötig sind. Ein Ausheizen der Apparatur ist unumgänglich. Die Ausgasung von Wasserstoff aus den Kammerwänden bestimmt in der Regel den Restdruck. Der Inhalt dieses Kapitels wurde vor allem [1] entnommen.

This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.

Access this chapter

Institutional subscriptions

Literatur

  1. Bergandt, E., Henning, H.: Methoden zur Erzeugung von Ultrahochvakuum. Vak.-Technol. 25(5), 131–140 (1976)

    Google Scholar 

  2. Ishimaru, H.: Development and application of all-aluminium alloy ultra-high vacuum systems. Vacuum, (Abstract) 40, 223 (1990)

    Article  Google Scholar 

  3. Ishimaru, H.: Ultimate pressure of the order of 10−13 torr in an aluminium alloy vacuum chamber. J. Vac. Sci. Technol. A 7, 2439–2442 (1989)

    Article  Google Scholar 

  4. Briesacher, J., et al.: Non-evaporable getter pumps for semiconductor equipment. Ultraclean Technol. 1, 49–57 (1990)

    Google Scholar 

  5. Pupp, H.: Vakuumtechnik (Kap. 57). Hanser Verlag, München/Wien (1991)

    Google Scholar 

  6. Tilford, C.R.: Reliability of high vacuum measurements. J. Vac. Sci. Technol. A 1(2), 152–162 (1983)

    Article  Google Scholar 

  7. Weston, G.F.: Measurement of ultra-high vacuum. Vacuum 29(8/9), 277–292 (1979), 30(2), 49–69 (1980)

    Article  Google Scholar 

  8. Wahl, H.: Das Vakuumsystem des CERN am 450 GeV Super-Protonen-Synchron und Speicherring (SPS). Vak. Prax. 1, 43–51 (1989)

    Article  Google Scholar 

Download references

Author information

Authors and Affiliations

Authors

Corresponding author

Correspondence to Karl Jousten .

Editor information

Editors and Affiliations

Rights and permissions

Reprints and permissions

Copyright information

© 2017 Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH

About this entry

Cite this entry

Jousten, K. (2017). Arbeitstechnik im Ultrahochvakuum. In: Jousten, K. (eds) Handbuch Vakuumtechnik. Springer Reference Technik . Springer Vieweg, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-658-13403-7_40-1

Download citation

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-658-13403-7_40-1

  • Received:

  • Accepted:

  • Published:

  • Publisher Name: Springer Vieweg, Wiesbaden

  • Print ISBN: 978-3-658-13403-7

  • Online ISBN: 978-3-658-13403-7

  • eBook Packages: Springer Referenz Technik und Informatik

Publish with us

Policies and ethics