Zusammenfassung
Bei der Arbeitstechnik im Hochvakuum spielt die Ausgasung der inneren Wände der Apparatur oder Anlage die Hauptrolle, während die im Volumen befindlichen freien Gas- und Dampfmengen von untergeordneter Bedeutung sind. Die nötige Auspumpzeit und der nötige Basisdruck können nur erreicht werden, wenn die entsprechenden Kriterien zur Materialauswahl sowie die entsprechenden Fertigungen und Reinigungen beachtet werden.
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Jousten, K. (2017). Arbeitstechnik im Hochvakuum. In: Jousten, K. (eds) Handbuch Vakuumtechnik. Springer Reference Technik . Springer Vieweg, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-658-13403-7_39-1
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