Arbeitstechnik im Grob- und Feinvakuum

Living reference work entry
Part of the Springer Reference Technik book series (SRT)

Zusammenfassung

Im Grob- und Feinvakuum sind die Ansprüche an die Materialien hinsichtlich Ausgasung, Desorption, Permeation und Leckrate gering. Es genügt die Verwendung von Elastomeren als Dichtmaterialien. Im Vordergrund steht die mechanische Stabilität der Behälter.

Schlüsselwörter

Grobvakuum Feinvakuum Arbeitstechnik Auspumpzeit Pumpstände 

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© Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH 2017

Authors and Affiliations

  1. 1.Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)BerlinDeutschland

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