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Bauelemente der Vakuumtechnik

  • Ute Bergner
Living reference work entry
Part of the Springer Reference Technik book series (SRT)

Zusammenfassung

Dichtheit und Ausgasverhalten sind die wichtigsten Kriterien für die passiven Komponenten der Vakuumtechnik. Diese bestehen neben den Vakuumkammern mit ihren speziellen Konstruktions- und Fügeanforderungen vor allem aus mechanischen, elektrischen und optischen Durchführungen (Schaugläser und Faserdurchführungen) und Ventilen zur Druckregelung. Des Weiteren müssen Möglichkeiten zum Temperaturmanagement bestehen. Im Abschn. 2, Vakuumhygiene, werden wissenschaftlich fundierte Hinweise gegeben, wie Vakuumprozesse zuverlässig, schnell und effizient gestaltet werden können.

Schlüsselwörter

Vakuumhygiene Partikel Verunreinigungen Ultra Clean Vacuum (UCV) Reinigungsverfahren Vakuumgerechtes Konstruieren und Fügen Vakuumkammern Vakuumventile Durchführungen Spannungsfestigkeit Optische Faserdurchführungen (OFD) Schaugläser 

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Copyright information

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Authors and Affiliations

  1. 1.VACOM Vakuum Komponenten & Messtechnik GmbHJenaDeutschland

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