Zusammenfassung
Die Geschichte der Vakuumtechnik beginnt mit Evangelista Torricelli und Otto von Guericke im 17. Jahrhundert. Sie entkräfteten die philosophischen Überlegungen, dass es ein Vakuum nicht geben könne, indem sie es einfach herstellten. Im späten 19. Jahrhundert begann die industrielle Anwendung der Vakuumtechnik, die sich daraufhin selbst zu einem Industriezweig entwickelte. Mit der Entwicklung der Halbleiterindustrie in der zweiten Hälfte des 20. Jahrhunderts stieg die Vakuumtechnik zu einer der Schlüsseltechnologien unserer heutigen Hochtechnologie auf.
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