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Epitaxie

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Einführung in die Halbleitertechnologie

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Zusammenfassung

Unter Epitaxie versteht man in der Halbleitertechnologie das einkristalline Wachstum einer dünnen Schicht auf einem einkristallinen Substrat. Man unterscheidet Homoepitaxie und Heteroepitaxie. Im ersteren Falle sind die Werkstoffe der Epitaxieschicht und des Substrates — von der Dotierung abgesehen — identisch; im zweiten Falle besteht die Epitaxieschicht aus einem Material, das von demjenigen des Substrates verschieden ist.

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Authors and Affiliations

  1. Universität Stuttgart, Deutschland

    Dr. phil. nat. Waldemar von Münch (o. Professor)

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  1. Dr. phil. nat. Waldemar von Münch
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© 1993 B. G. Teubner Stuttgart

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von Münch, W. (1993). Epitaxie. In: Einführung in die Halbleitertechnologie. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-88970-6_3

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  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-88970-6_3

  • Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag

  • Print ISBN: 978-3-519-06167-0

  • Online ISBN: 978-3-322-88970-6

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