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Mikroskopische Kathodolumineszenzuntersuchungen an Halbleitern mit der Elektronenstrahlmikrosonde

  • Conference paper

Part of the book series: Mikrochimica Acta ((MIKROCHIMICA,volume 6))

Zusammenfassung

Für die Untersuchung physikalischer Eigenschaften von Halbleitern in Mikrobereichen mit der Elektronenstrahlmikrosonde können sowohl elektrische als auch optische Wechselwirkungsphänomene zwischen Elektronenstrahl und Probe genutzt werden. Bei einer Reihe von Problemstellungen bietet sich insbesondere eine Analyse der Kathodolumineszenz an1–3.

Herrn Prof. Dr. Walter Koch zum 65. Geburtstag gewidmet und anläßlich des 7. Kolloquiums über metallkundliche Analyse mit besonderer Berücksichtigung der Elektronenstrahlmikroanalyse, Wien, 23.–25. 10. 1974 vorgetragen.

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© 1975 Springer-Verlag Wien

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Brümmer, O., Schreiber, J. (1975). Mikroskopische Kathodolumineszenzuntersuchungen an Halbleitern mit der Elektronenstrahlmikrosonde. In: Zacherl, M.K. (eds) Siebentes Kolloquium über metallkundliche Analyse mit besonderer Berücksichtigung der Elektronenstrahl-Mikroanalyse. Mikrochimica Acta, vol 6. Springer, Vienna. https://doi.org/10.1007/978-3-7091-8422-6_24

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