Zusammenfassung
Die Ellipsometrie ist ein optisches Messverfahren zur Analytik von Oberflächen und oberflächennahen Schichten. Gemessen wird die Änderung des Polarisationszustandes von Licht einer Wellenlänge oder eines ganzen Spektralbereiches bei Reflexion oder Transmission an der Oberfläche einer Probe, wobei eingangsseitig im Regelfall linear oder zirkular polarisiertes Licht zum Einsatz kommt, das nach der Reflexion elliptisch polarisiert vorliegt.
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Bauch, J., Rosenkranz, R. (2017). VASE - Winkelvariierende Spektroskopische Ellipsometrie. In: Physikalische Werkstoffdiagnostik. Springer Vieweg, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-53952-1_44
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-662-53952-1_44
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