Zusammenfassung
Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) ist eine Technik zur Analyse der Zusammensetzung von festen Oberflächen und dünnen Schichten. Das Verfahren zeichnet sich durch eine hohe Empfindlichkeit beim Nachweis von Spurenelementen in Festkörpern bis in den ppb-Bereich bei einer lateralen Auflösung im μm-Bereich aus.
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Bauch, J., Rosenkranz, R. (2017). SIMS - Sekundärionen-Massenspektrometrie. In: Physikalische Werkstoffdiagnostik. Springer Vieweg, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-53952-1_38
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-662-53952-1_38
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Publisher Name: Springer Vieweg, Berlin, Heidelberg
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