Auszug
Im Gegensatz zu den monolithisch integrierten Mikrosystemen bestehen die hybriden Systeme aus mehreren, in ihrer jeweiligen Technologie unabhÄngig voneinander gefertigten Komponenten. Dabei können durchaus unterschiedliche Halbleitermaterialien entsprechend ihrer j eweiligen Vorzüge zum Einsatz kommen.
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© 2006 B.G. Teubner Verlag / GWV Fachverlage GmbH, Wiesbaden
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(2006). Hybride Systeme. In: Mikrosystemtechnik. Teubner. https://doi.org/10.1007/978-3-8351-9022-1_6
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-8351-9022-1_6
Publisher Name: Teubner
Print ISBN: 978-3-8351-0003-9
Online ISBN: 978-3-8351-9022-1
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