Auszug
Ausgangsmaterialien für Mikrosysteme sind neben dem Element Silizium, das in der Mikroelektronik das bedeutendste Basismaterial für Halbleiterbauelemente und integrierte Schaltungen ist, verschiedene GlÄser, Keramiken und Kunststoffe. Dabei erfolgt die jeweilige Auswahl des Substrats anhand der geforderten Eigenschaften des geplanten Systems. Werden ElastizitÄt und hohe Bruchfestigkeit gewünscht, eignet sich Silizium wegen seiner mechanischen Eigenschaften besonders gut. GlÄser zeichnen sich durch geringe WÄrmeleitfÄhigkeit aus, Keramiken auf Aluminiumbasis verbinden gute thermische LeitfÄhigkeiten mit hervorragenden elektrischen Isolationswerten. Kunststoffe sind für kostengünstige Produkte mit geringen thermischen und elastischen Anforderungen hervorragend geeignet.
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© 2006 B.G. Teubner Verlag / GWV Fachverlage GmbH, Wiesbaden
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(2006). Prozesstechnik. In: Mikrosystemtechnik. Teubner. https://doi.org/10.1007/978-3-8351-9022-1_2
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Publisher Name: Teubner
Print ISBN: 978-3-8351-0003-9
Online ISBN: 978-3-8351-9022-1
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