Auszug
Die Rastersondenmikroskopie ist die empfindlichste Art der Charakterisierung von Oberflächen. Seit der Entwicklung der Rastertunnelmikroskopie (RTM) [Binnig82], die auf elektrisch leitende Proben beschränkt war, haben sich eine Reihe weiterer Rastersondentechniken als eigenständige oder kombinierte Verfahren entwickelt. Sie liefern neben Informationen über elektrische (STM, Scanning Tunneling Microscopy), magnetische (MFM, Magnetic Force Microscopy) und optische Eigenschaften (SNOM, Scanning Near Field Optical Microscopy) insbesondere auch Informationen zur Top01ogie (AFM, Atomic Force Microscopy) einer Probenoberfläche, z. T. auf atomarer Skala [Binnig86, Sarid91, Minne98]. Für derartige Mikroskopieverfahren geeignete Sonden können insbesondere durch mikrotechnische Herstellungsprozesse erzeugt werden und besitzen gegenüber konventionell hergestellten Sonden die Vorteile der Massenfertigung und Integrierbarkeit unterschiedlicher funktioneller Elemente.
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(2006). Beispiele komplexer Mikrosysteme. In: Praxiswissen Mikrosystemtechnik. Vieweg+Teubner. https://doi.org/10.1007/978-3-8348-9105-1_5
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