Zusammenfassung
Die Elektronenstrahl-Mikroanalyse hat sich als Schichtdicken-Meßverfahren in den letzten Jahren einen festen Platz erobert. Dank verfeinerter Techniken sind mittels der Mikrosonde noch Monolagen von Elementen mittlerer bis hoher Ordnungszahl nachweisbar (Hutchins1). Baumgartl, Ryder und Bühler2 haben Nachweisgrenzen von <1 Å mittlerer Dicke an Metallen erzielt. Deshalb erhebt sich die Frage, ob eine weitere Steigerung der Nachweisempfindlichkeit praktisch sinnvoll ist.
Herrn Prof. Dr. Walter Koch zum 65. Geburtstag gewidmet und anläßlich des 7. Kolloquiums über metallkundliche Analyse mit besonderer Berücksichtigung der Elektronenstrahlmikroanalyse, Wien, 23.–25. 10. 1974 vorgetragen.
This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.
Access this chapter
Tax calculation will be finalised at checkout
Purchases are for personal use only
Preview
Unable to display preview. Download preview PDF.
Literatur
G. Hutchins, Thickness Determination of Thin Films by Electron Probe Microanalysis, in T. D. McKinley et al. (Editors), The Electron Microprobe, New York: Wiley. 1966. pp. 390–404.
S. Baumgartl, P. L. Ryder und H. E. Bühler, Z. Metallk. 64, 655 (1973).
H. Hantschc und P. Koschnik, Mikrochimica Acta [Wien], Suppl. V, 1974, 73.
A. R. Büchner und W. Pitsch, Z. Metallk. 62, 392 (1971).
Z. Kotrba, Prakt. Metallographie 10, 628 (1973).
R. Butz und H. Wagner, Surface Science 34, 693 (1973).
M. Fabbricotti et al., An Electron Microprobe Analysis of Cu2–xS Layers Chemiplated on Single Crystals and Thin Films of CdS, Vht Intern. Congr. on X-Ray Optics and Microanalyses, Berlin: Springer-Verlag. 1969.
D. R. Beaman and J. A. lsasi, Electron Beam Microanalysis, ASTM STP 506, 1972.
K. F. J. Heinrich, X-Ray Absorption Uncertainty, in: T. D. McKinley et al. (Editors), The Electron Microprobe, New York: Wiley. 1966. pp. 296–377.
H. Malissa, Elektronenstrahlmikroanalyse (Handb. der mikrochemischen Methoden IV ), Wien: Springer-Verlag. 1966.
Author information
Authors and Affiliations
Editor information
Editors and Affiliations
Rights and permissions
Copyright information
© 1975 Springer-Verlag Wien
About this paper
Cite this paper
Schrader, M. (1975). Impulsratenerhöhung durch Elektronenstreuschichten bei der Mikrosonden-Analyse dünner Schichten. In: Zacherl, M.K. (eds) Siebentes Kolloquium über metallkundliche Analyse mit besonderer Berücksichtigung der Elektronenstrahl-Mikroanalyse. Mikrochimica Acta, vol 6. Springer, Vienna. https://doi.org/10.1007/978-3-7091-8422-6_13
Download citation
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-7091-8422-6_13
Publisher Name: Springer, Vienna
Print ISBN: 978-3-211-81328-7
Online ISBN: 978-3-7091-8422-6
eBook Packages: Springer Book Archive