Zusammenfassung
Es ist eine seit langem bekannte Tatsache, daß man durch das Bombardement einer Festkörperoberfläche mit schweren Ionen von dieser atomare Teilchen ablösen kann. Ein Bruchteil dieser Partikel ist ionisiert, so daß es durch eine massenspektrometrische Analyse dieser (positiven oder negativen) Sekundärionen möglich ist, Rückschlüsse auf die chemische Zusammensetzung der Festkörperoberfläche zu ziehen. Ein Prinzipbild eines Sekundärionenmassenspektrometers zeigt Abb. 1. In einer Primärionenquelle (1) wird der Primärionenstrahl (2) erzeugt. Aus diesem Ionenstrahl werden in dem magnetischen Sektorfeld (3) Ionen einer ganz bestimmten Massenzahl ausgesondert und mittels eines elektrostatischen Linsensystems (4) auf das Target (5) fokussiert. Bei Verwendung hochreiner Primärionengase und in UHV-Systemen kann die Massenanalyse des Primärstrahles auch wegfallen. Die vom Target emittierten Sekundärionen (6) werden durch ein weiteres elektrostatisches Linsensystem (7) in ein doppeltfokussierendes Massenspektrometer (8) fokussiert. Hier erfolgt die Massenanalyse der Sekundärionen. Das Sekundärionen-massenspektrum kann dann z. B. mittels Ionenvervielfachers (9), Elektrometerverstärkers und X-Y-Schreibers aufgezeichnet werden.
Vortrag anläßlich des 6. Kolloquiums über metallkundliche Analyse mit besonderer Berücksichtigung der Elektronenstrahl-Mikroanalyse, Wien, 23. bis 25. Oktober 1972.
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Rüdenauer, F.G., Steiger, W., Portenschlag, P. (1974). Aspekte zur qualitativen und quantitativen Analyse in der Sekundärionenmassenspektrometrie. In: Zacherl, M.K. (eds) Sechstes Kolloquium über metallkundliche Analyse mit besonderer Berücksichtigung der Elektronenstrahl-Mikroanalyse Wien, 23. bis 25. Oktober 1972. Mikrochimica Acta, vol 5. Springer, Vienna. https://doi.org/10.1007/978-3-7091-8351-9_32
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