Quantitative Analyse metallischer Proben mittels Photoelektronenspektrometrie

Zusammenfassung

Die Anwendung der Röntgenphotoelektronenspektrometrie (XPS) auf die Oberflächenanalyse metallischer Verbindungen stellt eine neue Entwicklung auf diesem Gebiet dar. Vor kurzem wurden von B. L. Henke¹ und P. E. Larson² Arbeiten veröffentlicht, die eine theoretische Formulierung des Zusammenhanges zwischen der Photoelektronenzählrate, der Zusammensetzung und den inelastischen Streukoeffizienten einerseits und eine experimentelle Überprüfung derselben andererseits enthalten. Wir sind aus Analogiebetrachtungen zur Röntgenfluoreszenzanalyse zu einem vergleichbaren Ergebnis gelangt und haben dieses in Hinblick auf eine quantitative Oberflächenanalytik ausgebaut³. Es ist nun nicht das Ziel der folgenden Ausführungen, die Herleitung des genannten Zusammenhanges zu wiederholen, sondern an Hand der für die Analyse erforderlichen Gleichung eine sich ergebende Problemstellung aufzuzeigen.

Forschungsprojekt Nr. 1567 des Fonds zur Förderung der wissenschaftlichen Forschung in Österreich.