Photoelektronenspektrometrische Untersuchungen an auf Glas aufgedampften Metallschichten

Zusammenfassung

Die Röntgenphotoelektronenspektrometrie kann im Zusammenhang mit dünnen Aufdampfschichten zur Untersuchung von Dünnschichtphänomenen, wie Inselbildung und Dichtedefekt herangezogen werden¹. Weitere Anwendungen ergeben sich im Zusammenhang mit der theoretischen Behandlung der Photoelektronenausbeute unter vorgegebenen Bedingungen². Daraus resultiert die Möglichkeit der Bestimmung von inelastischen Elektronenstreukoeffizienten^1,3–5, oder die bisher noch nicht behandelte Bestimmung der Massenbelegung dünner Schichten bzw. die Konzentrationsbestimmung an dünnen Legierungsschichten. Der erfaßbare Schichtdickenbereich erstreckt sich dabei von Null bis maximal 10 nm. Die folgenden Ausführungen beschäftigen sich mit dieser neuartigen Anwendung der Röntgen-photoelektronenspektrometrie.

Vortrag anläßlich des 6. Kolloquiums über metallkundliche Analyse mit besonderer Berücksichtigung der Elektronenstrahl-Mikroanalyse, Wien, 23. bis 25. Oktober 1972.