Prüfung der Korrekturverfahren für Absorption, Ordnungszahl und sekundäre Fluoreszenz durch Variation der Anregungsspannung und des Entnahmewinkels

Zusammenfassung

Bei der Ableitung der zur Zeit am häufigsten benutzten Korrekturformeln zur quantitativen Analyse an der Mikrosonde (Ordnungszahlkorrektur nach Duncumb ¹, Absorptionskorrektur nach Philibert-Duncumb-Shields ^2,3, Fluoreszenzkorrektur nach Reed ⁴) wurden so starke Vereinfachungen gemacht, daß man sich beim Benutzen dieser Verfahren über die Genauigkeit und den Gültigkeitsbereich im klaren sein muß. Der einzige physikalische Vorgang, der exakt wiedergegeben wird, ist die Absorption der emittierten Röntgenstrahlung. Allerdings sind die in die Exponentialfunktion eingehenden Massenabsorptionskoeffizienten in vielen Fällen nicht genau bekannt, so daß auch hier Fehlermöglichkeiten bestehen. Die Wechselwirkungen der Elektronen mit den Atomen in der Probe werden entweder ebenfalls durch einfache Exponentialfunktionen² oder durch die von Bethe angegebenen Gesetze für das Elektronenbremsvermögen und die Ionisierungswahrscheinlichkeit dargestellt⁵. Die Bethesche Formel für den Energieverlust der Elektronen ist eine Näherung und hält einer experimentellen Prüfung nur unter Einschränkungen stand⁶. Diese Gleichung gestattet außerdem nur die Berechnung der mittleren Energie der Elektronen nach Durchlaufen einer bestimmten Distanz in der Probe; die Energieverteilung, die zur Ermittlung der Ionisation benötigt wird, bleibt unbekannt.

Vortrag anläßlich des 5. Kolloquiums über metallkundliche Analyse mit besonderer Berücksichtigung der Elektronenstrahl-Mikroanalyse, Wien, 22. bis 25. Oktober 1969.