Zusammenfassung
Die praktische Bedeutung von Dünnschichtüberzügen hat immer mehr zugenommen und erstreckt sich in verschiedensten Varianten z. B. auf Korrosionsschutz, Beeinflussung der optischen Oberflächeneigenschaften, Kontaktierungen bzw. Elektronik. Abhängig von dem jeweiligen Einsatzgebiet werden verschiedenartige Forderungen an das Meßverfahren zu stellen sein, die einerseits von der zu untersuchenden Probe und anderersetis von der gewünschten Information abhängen. Die folgenden Ausführungen sollen anhand von vier, heute gängigen physikalischen Untersuchungsmethoden in Verbindung mit vier verschiedenen Probentypen die möglichen Aussagen aufzeigen.
Vortrag anläßlich des 8. Kolloquiums über metallkundliche Analyse mit besonderer Berücksichtigung der Elektronen- und Ionenstrahl-Mikroanalyse, Wien, 27. bis 29. Oktober 1976.
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McMaster, W. H., et al., Compilation of X-ray Cross-Sections, Clearinghouse U. S. Department of Commerce, Springfield, Virginia (1969).
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© 1977 Springer-Verlag Wien
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Ebel, M.F., Wernisch, J. (1977). Coating-Untersuchungen mit modernen physikalischen Methoden. In: Zacherl, M.K. (eds) Achtes Kolloquium über Metallkundliche Analyse mit Besonderer Berücksichtigung der Elektronenstrahl- und Ionenstrahl-Mikroanalyse Wien, 27. bis 29. Oktober 1976. Mikrochimica Acta, vol 7. Springer, Vienna. https://doi.org/10.1007/978-3-7091-3724-6_10
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