Zusammenfassung
Im folgenden Kapitel werden die apparativen Voraussetzungen für die im weiteren Teil dieser Arbeit beschriebenen Experimente zusammengestellt. Der überwiegende Teil der Messungen erfolgte an einem SIMS/SNMS-Kombinationsgerät. Dieses Gerät wird in Abschnitt 3.1 im Detail beschrieben. Abschnitt 3.2 befaßt sich mit den Problemen bei der Analyse nichtleitender Proben. In Abschnitt 3.3 werden die Spezifikationen des Kombinationsgeräts anhand ausgewählter Beispiele vorgestellt. Für die Tiefen-profilmessungen an metalloxidischen Mehrfachschichtsystemen wurde außerdem eine XPS-Apparatur benutzt, die in Abschnitt 3.4 beschrieben wird.
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Lipinsky, D. (1995). Apparaturbeschreibung. In: Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen. Deutscher Universitätsverlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-663-14558-5_3
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-663-14558-5_3
Publisher Name: Deutscher Universitätsverlag, Wiesbaden
Print ISBN: 978-3-8244-2066-7
Online ISBN: 978-3-663-14558-5
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