Bauelemente

Zusammenfassung

In diesem Kapitel soll nicht versucht werden, einen vollständigen Überblick über alle bisher implantierten Bauelemente zu geben, sondern anhand einiger typischer Beispiele die Vorzüge der Implantation aufzuzeigen und neue Anwendungen anzuregen. Die verschiedenen Eigenschaften der Implantation kommen dabei unterschiedlich zum Tragen. Die wichtigsten Vorzüge für Bauelementeigenschaften sind:

• 1. Gleichmäßigkeit der Dotierung, also Homogenität über eine implantierte Probe und Reproduzierbarkeit von Probe zu Probe (s. Abschn. 7.1, 7.2, 7.3, 7.4).

• 2. Kontrolliertes Einbringen auch geringer Dotiermengen durch exakte Messung des Ionenstroms (s. Abschn. 7.1, 7.2).

• 3. Geringe laterale Streuung des implantierten Profils (s. Abschn. 7.1).

• 4. Niedrige Prozeßtemperatur (s. Abschn. 7.1).

• 5. Einbringung von Elementen, die im Festkörper nicht löslich sind oder nur schwierig (z. B. unter hohem Druck) eingebracht werden können (s. Abschn. 7.4).

• 6. Variation des Dotierungsprofils durch Mehrfachimplantationen bzw. Herstellung von Profilen mit dem Konzentrationsmaximum im Festkörperinneren (s. Abschn. 7.3, 7.4).