Zusammenfassung
Es gibt eine Vielzahl von unterschiedlichen Ionenbeschleunigern. Ihr Energiebereich liegt zwischen etwa 10 keV und einigen MeV, meist jedoch zwischen 20 keV und 300 keV, die Strahlstromstärken liegen zwischen einigen µA und mehreren mA. Die Gründe für die Beschränkung auf einige hundert keV sind die wachsenden Kosten der Apparaturen und die Komplexität der Ionenerzeugung und -analyse. Für spezielle Anwendungen oberhalb 300 keV stehen für die Kernphysik entwickelte Beschleuniger zur Verfügung.
This is a preview of subscription content, log in via an institution.
Buying options
Tax calculation will be finalised at checkout
Purchases are for personal use only
Learn about institutional subscriptionsPreview
Unable to display preview. Download preview PDF.
Author information
Authors and Affiliations
Rights and permissions
Copyright information
© 1978 B. G. Teubner, Stuttgart
About this chapter
Cite this chapter
Ryssel, H., Ruge, I. (1978). Ionenimplantationsapparaturen. In: Ionenimplantation. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-663-05668-3_4
Download citation
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-663-05668-3_4
Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
Print ISBN: 978-3-519-03206-9
Online ISBN: 978-3-663-05668-3
eBook Packages: Springer Book Archive