Zusammenfassung
Als Pumpen für das Feinvakuumgebiet (1 Torr bis 10−3 Torr) und das Hochvakuumgebiet (10−3 bis 10−6 Torr) werden unter anderen Dampfstrahlpumpen, Treibdampfpumpen (angelsächsisch: Booster) und Diffusionspumpen angewendet. Ihr gemeinsamer Aufbau geht aus Abbildung 1 hervor.
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Jaeckel, R., Kutscher, H. (1959). Einleitung. In: Das Verhalten von Überschallströmungen bei Drucken unter 1 Torr. Forschungsberichte Des Landes Nordrhein-Westfalen, vol 683. VS Verlag für Sozialwissenschaften, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-663-04553-3_1
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Publisher Name: VS Verlag für Sozialwissenschaften, Wiesbaden
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