Einleitung

Zusammenfassung

Als Miniaturisierung bezeichnet man die Entwicklungsrichtung im Bereich der Elektronik, die den Fortschritt der letzten Jahrzehnte — die vielzitierte “zweite industrielle Revolution” — entscheidend gefördert hat. Ausgelöst wurde das Miniaturisierungsstreben durch den wachsenden Bedarf an komplexen elektronischen Einrichtungen in fast allen technischen Disziplinen, die eine drastische Verkleinerung der elektronischen Bauelemente erzwangen. Diese Entwicklung begann in den sechziger Jahren mit Schaltungen in SSI-Technologie (small scale integration), die nur eine geringe Anzahl an Gatterfunktionen auf einem Halbleiterplättchen zuließen. Über MSI- (medium scale integration) und LSI-Schaltungen (large scale integration) führte die Entwicklung zur heutigen VLSI-Technologie (very large scale integration). Die Steigerung der Integrationsdichte beruht auf dem Fortschritt in zwei unterschiedlichen Bereichen. Zum einen gelang es, immer feinere Strukturen zu produzieren, zum anderen konnten bei immer größeren Chipflächen akzeptable Ausbeuten an funktionsfähigen Chips erzielt werden. Die Folge war, daß seit 1970 etwa alle drei Jahre eine neue Generation von integrierten Schaltkreisen auf den Markt kam, die jeweils viermal soviel Elemente pro Chip enthielt wie die vorhergehende. Mit dem 4 MBit-Speicherchip wurde 1989 erstmals der “Submicron-Bereich” erschlossen, wobei die feinsten Strukturen nur noch 0.8μm breit sind.