Zusammenfassung
Ein Helium-Ionen-Mikroskop gleicht in vielen Merkmalen einem Rasterelektronenmikroskop, wobei die Probe aber nicht mit Elektronen, sondern mit Heliumionen beschossen wird. Eine Ionenoptik sorgt für eine extrem starke Bündelung des Teilchenstrahls und mittels einer Ablenkeinheit wird der Strahl analog zum REM über die Probe gerastert. Dort erzeugen die auftreffenden Teilchen eine große Zahl von Sekundärelektronen, welche zur Bilddarstellung genutzt werden. Die erzielbaren Auflösungen sind besser als die im REM, weil der Ionenstrahl in der Probe nicht so stark aufgeweitet wird.
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Bauch, J., Rosenkranz, R. (2017). HIM - Helium-Ionen-Mikroskopie. In: Physikalische Werkstoffdiagnostik. Springer Vieweg, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-53952-1_6
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