Zusammenfassung
Diese Methode beruht auf der elastischen Streuung von hochenergetischen Ionen am Coulomb-Potenzial der Atomkerne des zu untersuchenden Targetmaterials. Protonen oder Alphateilchen mit Energien im MeV-Bereich dringen in die oberflächennahen Schichten der Probe ein. Treffen sie auf ein Atom, werden sie an dessen Kern elastisch mit einer Energie zurückgestreut, die allein von der Masse des Projektils, der des Targetatoms und dem Rückstreuwinkel abhängt. Damit lassen sich Elemente in oberflächennahen Schichten zerstörungsfrei nachweisen.
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Bauch, J., Rosenkranz, R. (2017). RBS - RUTHERFORD-Rückstreu-Spektrometrie. In: Physikalische Werkstoffdiagnostik. Springer Vieweg, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-53952-1_40
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