Zusammenfassung
Elektronen mit Energien von ca. 10 bis zu einigen 100 keV können sehr dünne Proben (< 100 nm) durchdringen und erleiden zum Teil durch inelastische Streuung an den Elektronenhüllen spezifische Energieverluste, welche von der Zusammensetzung, von der Kristallstruktur und von den Bindungsverhältnissen im Festkörper abhängen. Die Spektren werden mit einem hochempfindlichen Verstärker aufgezeichnet und lassen Schlüsse auf Zusammensetzung und Struktur der Probe zu.
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Bauch, J., Rosenkranz, R. (2017). EELS - Elektronenenergieverlustspektroskopie. In: Physikalische Werkstoffdiagnostik. Springer Vieweg, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-53952-1_37
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