Zusammenfassung
Auf der Grundlage theoretischer Arbeiten von L. PARRATT entwickelte sich ca. 1985 die Methode der Röntgenreflektometrie. Dabei werden dünne Schichten hinsichtlich Schichtdicke, Dichte und Rauheit untersucht, wobei insbesondere die Totalreflexion und das Eindringvermögen von Röntgenstrahlung eine Rolle spielen. Voraussetzung sind Brechzahlunterschiede zwischen Schicht und Substrat.
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Bauch, J., Rosenkranz, R. (2017). XRR - Röntgenreflektometrie. In: Physikalische Werkstoffdiagnostik. Springer Vieweg, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-53952-1_25
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