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Laser Interferometry

  • Axel Donges
  • Reinhard Noll
Chapter
Part of the Springer Series in Optical Sciences book series (SSOS, volume 188)

Abstract

First, we explain the basics of interferometry. Then we deal with distance measurement using a polarization interferometer and a dual-frequency interferometer. This discussion also includes angular and straightness measurements. Finally, the Twyman-Green interferometer is presented, which can be used for testing the quality of optical imaging components.

Keywords

Beam Splitter Laser Interferometer Michelson Interferometer Quarter Wave Plate HeNe Laser 
These keywords were added by machine and not by the authors. This process is experimental and the keywords may be updated as the learning algorithm improves.

References

  1. 1.
    M. Born, E. Wolf, A.B. Bhatia, P.C. Clemmow, D. Gabor, A.R. Stokes, A.M. Taylor, P.A. Wayman, W.L. Wilcock, Principles of Optics (Cambridge University Press, Cambridge, 2003). ISBN 0 521 642221Google Scholar
  2. 2.
    E. Hecht, Optics (Pearson, Reading, 2003). ISBN 978-8177583571Google Scholar
  3. 3.
    P. Hariharan, Basics of Interferometry (Academic Press, New York, 2007). ISBN 9780123735898Google Scholar
  4. 4.
    P. Hariharan, Optical Interferometry (Academic Press, San Diego, 2003). ISBN 978-0123116307Google Scholar
  5. 5.
    A. YaKarasik, V.U. Zusov, Laser Interferometry Principles (Mir Publishers, Moscow, 1995). ISBN 978-0849375422Google Scholar
  6. 6.
    Swapan Kumar Saha, Principles of Interference (Springer, New York, 2011). ISBN 978-1-4419-5709-2CrossRefGoogle Scholar
  7. 7.
    H. Gross (ed.), B. Dörband, H. Müller, H. Gross, Handbook of Optical Systems. Vol. 5: Metrology of Optical Components and Systems (Wiley-VCH, Weinheim, 2012) ISBN 978-3-527-40381-3Google Scholar
  8. 8.
    M. Bass (ed.), Handbook of Optics: Volume II – Design, Fabrication, and Testing; Sources and Detectors; Radiometry and Photometry (McGraw Hill, New York, 2009). ISBN 9780071498906Google Scholar
  9. 9.
    D. Rosenberger, Technische Anwendungen des Lasers (Springer, Berlin, 2012). ISBN 978-3-642-93031-7Google Scholar
  10. 10.
    H.-H. Schüssler, Industrielle Lasermeßtechnik und ihr Einsatz in Produktion und Entwicklung, Teil 1: Grundlagen und Geräteausführungen. Automobil-Industrie 4, 475–488 (1983)Google Scholar
  11. 11.
    J.N. Dukes, G.B. Gordon, A two-hundred-foot yardstick with graduations every microinch. Hewlett Packard J. 21(12), 2–8 (1979)Google Scholar
  12. 12.
    H. Bauer, Lasertechnik: Grundlagen und Anwendungen (Vogel, Würzburg, 1991). ISBN 3-8023-0437-3Google Scholar
  13. 13.
    F. Lebowsky, Refraktometer mit Zweifrequenzlaser. PTB-Mitt. 4, 273–276 (1991)Google Scholar
  14. 14.
    T. Pfeifer, J. Waltar, Frequenzstabilisierte Halbleiterlaser für die interferometrische Meßtechnik. FhG-Berichte 1, 49–54 (1990)Google Scholar
  15. 15.
    W. Luhs, H.-P. Meiser, Neue Strahlungsquellen für die Laserinterferometrie. VDI Berichte 749 - Laserinterferometrie in der industriellen Meßtechnik, Tagung Braunschweig, 26. und 27. April 1989Google Scholar
  16. 16.
    VDI-Berichte 749, Laserinterferometrie in der Längenmeßtechnik (VDI-Verlag, Düsseldorf, 1989)Google Scholar
  17. 17.
    Agilent Technologies, Laser and Optics User’s Manual (order number: p/n 05517-90045). Santa Clara, CA, 2002Google Scholar
  18. 18.
    H. Walcher, Winkel- und Wegmessungen im Maschinenbau (VDI-Verlag, Düsseldorf, 1985). ISBN 3-18-400708-1Google Scholar
  19. 19.
    Hewlett Packard: Laser-Meßsystem HP5528A, Santa Clara, Agilent Technologies, 1992, in: http://cp.literature.agilent.com/litweb/pdf/05528-90022.pdf. Accessed 18 Aug 2013
  20. 20.
    H. Höfler, J. Molnar, C. Schröder, Interferometrische Wegmessung mit automatischer Kompensation von Brechzahlschwankungen. FhG-Berichte 1, 55–58 (1990)Google Scholar
  21. 21.
    Dual-Frequency Laser Interferometer ZLM 700 ZLM 800. Jena, JENAer Meßtechnik GmbH, 2003Google Scholar
  22. 22.
    Teachspin brochure: Modern Interferometry. Buffalo, Techspin, 2007, in: http://www.teachspin.com/instruments/moderni/ModInter_full.pdf. Accessed 17 Aug 2013
  23. 23.
    W. Dutschke, P. Grossmann, Fluchtungsmessung mit einem Laser-Interferometer. Zeitschrift für industr. Fertigung 68(4), 209–212 (1978)Google Scholar
  24. 24.
    H.-H. Schüssler, Industrielle Lasermeßtechnik und ihr Einsatz in Produktion und Entwicklung, Teil 2: Anwendungen bei Werkzeugmaschinen, Koordinatenmeßgeräten und Industrierobotern. Automobil-Industrie 1, 73–83 (1984)Google Scholar
  25. 25.
    F. Twyman, A. Green, Improvements in finishing prisms or lenses or combinations of the same and in apparatus therefor, British Patent No. 103832 (prisms and microscopes), 1916Google Scholar
  26. 26.
    F. Twyman, Interferometers for the experimental study of optical systems from the point of view of the wave theory. Phil. Mag. 35(6), 49–58 (1918)CrossRefGoogle Scholar
  27. 27.
    F. Twyman, An interferometer for testing camera lenses. Phil. Mag. 42(6), 777–793 (1921)CrossRefGoogle Scholar
  28. 28.
    D. Bimberg et al., Laser in der Industrie (expert-Verlag, Sindelfingen, 1985). ISBN 3-88508-879-7Google Scholar
  29. 29.
    G. Herziger, H. Lindner, Dynamische Eigenschaften von Laser-Oszillatoren. I. Z. f. Physik 206, 446–456 (1976)CrossRefADSGoogle Scholar
  30. 30.
    DIN ISO 10110-8:2012-02: Optics and photonics - Preparation of drawings for optical elements and systems - Part 8: Surface texture; roughness and waviness (Beuth, Berlin, 2010)Google Scholar
  31. 31.
    Data sheet “Möller-Wedel Interferometer V-100/P”. http://www.measureshop.biz/files/catalogue/systems/measuring_systems_catalogue_114.pdf. Accessed 27 Nov 2012

Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2015

Authors and Affiliations

  1. 1.nta Hochschule Isny—University of Applied SciencesIsnyGermany
  2. 2.Fraunhofer-Institut für LasertechnikAachenGermany

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