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Betrachtungen zur Verwendung des Scanningprinzips für quantitative Auswertungen in der Elektronenstrahl-Mikroanalyse

  • Gerhard Dörfler
Part of the Mikrochimica Acta book series (MIKROCHIMICA)

Zusammenfassung

Die Mikrosondenanalyse läßt sich mittels einer der folgenden drei Arbeitstechniken durchführen: der Punktanalyse, der Abtastung entlang einer Linie (Konzentrationsprofil, line-scan) oder der Flächenabtastung, dem sogenannten Scanning. Dabei wird allgemein der Punktanalyse quantitativer, der Linienabtastung halbquantitativer, dem Scanning jedoch nur qualitativer Charakter zugeschrieben. Die zunehmende Verwendung des Scanningprinzips für halb quantitative oder quantitative Auswertungen — die Intensitätsdiskriminierung von Röntgenbildern, das „concentration-mapping“ und der Einsatz zur Linearanalyse (Phasenintegrator) seien als Beispiele genannt — läßt es gerechtfertigt erscheinen, die Grundlagen und die sich daraus ergebenden optimalen Meßbedingungen kritisch zu betrachten. Anschließend wird versucht, die Möglichkeiten einer flexiblen und den neuen Anwendungsmöglichkeiten entgegenkommenden Scanningvorrichtung aufzuzeigen.

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Copyright information

© Springer-Verlag Wien 1967

Authors and Affiliations

  • Gerhard Dörfler
    • 1
  1. 1.Analytisches InstitutUniversität WienÖsterreich

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