Diskussionsbeitrag zu H. Moenke: Vergleichende Untersuchungen über Elektronenstrahl-Mikroanalyse und Laser-Mikro-Spektralanalyse

Zusammenfassung

H. Moenke behauptet, die Probe befinde sich bei der Elektronenstrahl-Mikroanalyse stets im Vakuum. Das muß jedoch nicht immer der Fall sein. B. W. Schumacher¹ verwendet z. B. eine Anordnung, um Proben auch außerhalb des evakuierten elektronenoptischen Systems zu untersuchen: Der Elektronenstrahl tritt durch ein Loch von etwa 1mm Durchmesser in der Abschlußplatte des elektronenoptischen Systems aus der Kolonne ins Freie aus. Durch eine genügend große Pumpleistung läßt sich in der Kolonne ein hinreichendes Vakuum aufrechterhalten. Die in der Probe angeregten Röntgenstrahlen treten durch die Abschlußplatte wieder in das Vakuumspektrometer ein. Der erzielbare Elektronenstrahl-durchmesser beträgt bei dieser Anordnung allerdings etwa 0,1 mm. Bei dieser Anordnung ist auch die Probengröße nicht mehr apparativ vorgegeben.