Zusammenfassung
Der Siegeszug der integrierten Schaltungen beruht auf der Eigenschaft, daß mit den Silizium-Technologien gleichzeitig viele verschiedene Schaltungskomponenten auf einem Chip integriert werden können. Mit der MOS-Technologie gelingt es gegenwärtig, etwa acht Millionen Schaltungselemente auf einer Chipfläche von 91 mm2 herzustellen. Der Trend zu noch feineren Strukturen, um noch größere Integrationshöhen zu erreichen, ist ungebrochen. Durch die gemeinsame Herstellung der vielen Schaltungselemente erreicht man sehr niedrige Kosten pro Schaltungsfunktion.
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© 1993 Springer-Verlag Berlin Heidelberg
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Klar, H. (1993). Zellenfelder. In: Integrierte Digitale Schaltungen MOS/BICMOS. Springer-Lehrbuch. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-22037-5_5
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