Skip to main content

Chemische Effekte

  • Chapter
Sensorik

Part of the book series: Halbleiter-Elektronik ((HALBLEITER,volume 17))

  • 127 Accesses

Zusammenfassung

Im Rahmen von Prozeßüberwachung, Umweltschutz und Arbeitssicherheit besteht der Wunsch, an sehr vielen Stellen die Konzentration bestimmter, auch schädlicher oder gefährlicher Stoffe in Gasen oder Flüssigkeiten laufend automatisch zu überwachen. Für einen so breit gestreuten, ständigen Einsatz können Analysegeräte, wie sie üblicherweise in Laboratorien verwendet werden, nicht eingesetzt werden, da im allgemeinen Meßzeit und finanzieller Aufwand viel zu hoch wären. Seit Jahren wird daher daran gearbeitet, verschiedene physikalisch-chemische Effekte auszunützen, um die Konzentration der betreffenden Stoffe mit möglichst einfachen Mitteln nachzuweisen. Als Ergebnis dieser Arbeiten erwartet man Bauelemente, die die Konzentration des nachzuweisenden Stoffs möglichst direkt in ein elektrisches Signal umwandeln. Um dieses Ziel kostengünstig zu erreichen, ist man bereit, Konzessionen bezüglich Genauigkeit und Breite des Anwendungsbereichs einzuräumen.

This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.

Access this chapter

Chapter
USD 29.95
Price excludes VAT (USA)
  • Available as PDF
  • Read on any device
  • Instant download
  • Own it forever
eBook
USD 54.99
Price excludes VAT (USA)
  • Available as PDF
  • Read on any device
  • Instant download
  • Own it forever

Tax calculation will be finalised at checkout

Purchases are for personal use only

Institutional subscriptions

Preview

Unable to display preview. Download preview PDF.

Unable to display preview. Download preview PDF.

Literatur zu Kapitel 7

  1. Wagner, C.: Über den Mechanismus der elektrischen Strom- leitung im Nernst-Stift. Naturwissenschaften (1943) 265.

    Google Scholar 

  2. Weissbart, J.; Rubka, R.: Oxygen gauge. Rev. Sci. Instr. 32 (1961) 593.

    Article  CAS  Google Scholar 

  3. Rickert, H.: Elektrochemie fester Stoffe. Berlin: Springer 1977, S. 117 ff.

    Google Scholar 

  4. Möbius, H. H.; Hartung, R.; Guth, U.: Ergebnisse der Entwicklung und Erprobung von Festelektrolytsensoren zur kontinuierlichen elektrochemischen Sauerstoffmessung in Rauchgasen. Messen Steuern Regeln 22 (1979) 269.

    Google Scholar 

  5. Eddy, D. S.: Physical principles of the zirkonia exaust gas sensor. IEEE Trans. Vehicular Technology VT-23 (1974) 125.

    Google Scholar 

  6. Fleming, D. S.: Physical principles governing nonideal behaviour of the zirconia oxygen sensor. J. Electrochem. Soc. 124 (1977) 21.

    Article  CAS  Google Scholar 

  7. Gauthier, M.; Bellemare, R.; Belanger, A.: Progress in the development of solid-state sulfate detectors for sulfur oxides. J. Electrochem. Soc. 128 (1981) 371.

    Article  CAS  Google Scholar 

  8. Johnson Jr., R. T.; Biefeld, R. M.: Ionic conductivity of Lis A1O4 and Li5GaO4 in moist environments: Potential humidity sensors. Mat. Res. Bull. 14 (1979) 537.

    Article  CAS  Google Scholar 

  9. Müller, R.: Bauelemente der Halbleiter-Elektronik, 2. Aufl. Halbleiter-Elektronik. Berlin: Springer 1979.

    Book  Google Scholar 

  10. Bergveld, P.: Development, operation, and application of the ionsensitive field-effect transistor as a tool for electrophysiology. IEEE Trans. Biomed. Eng. BME-19 (1972) 342.

    Google Scholar 

  11. Ulich, H.; Jost, W.: Kurzes Lehrbuch der physikalischen Chemie. Darmstadt: Steinkopff 1957.

    Google Scholar 

  12. Matsuo, T.; Wise, K. D.: An integrated field-effect electrode for biopotential recording. IEEE Trans. Biomed. Eng. BME-21 (1974) 485.

    Google Scholar 

  13. Bergveld, P.: Sensors and actuators 1 (1981) 17.

    Article  Google Scholar 

  14. Sze, S. M.: Physics of semiconductor devices. Wiley-Interscience. New York: Wiley 1969, p. 467.

    Google Scholar 

  15. Steele, C. M.; Hile, J. M.; Mac Iver, B. A.: Hydrogen sensitive palladium gate MOS capacitors. J. Appl. Phys. 47 (1976) 2537.

    Google Scholar 

  16. Plihal, M.: Ein Feldeffekt-Gassensor für Wasserstoff. Siemens Forsch. u. Entwickl.-Ber. 6 (1977) 53.

    CAS  Google Scholar 

  17. Lundström, K. I.; DiSefano, T.: Hydrogen induced interfacial polarization at Pd-SiO2 interfaces. Surf. Sci. 59 (1976) 23.

    Article  Google Scholar 

  18. Lundström, K. I.; Shivaraman, M. S.; Svensson, C. M.: A hydrogensensitive Pd-Gate MOS transistor. J. Appl. Phys. 46 (1975) 3876.

    Article  Google Scholar 

  19. Shivaraman, M. S.: Detection of H2S with Pd-gate MOS field effect transistors. J. Appl. Phys. 47 (1976) 3592.

    Article  CAS  Google Scholar 

  20. Heiland, G.: Zum Einfluß von adsorbiertem Sauerstoff auf die elektrische Leitfähigkeit von Zinkoxidkristallen. Z. Phys. 138 (1954) 459.

    Article  CAS  Google Scholar 

  21. Seiyama, T.; Kagawa, S.: Study on a detector for gaseous components using semiconductive thin films. Anal. Chem. 38 (1966) 1069.

    Google Scholar 

  22. Figaro Engineering Inc. TSG Gas Sensor. General Catalogue, October (1977).

    Google Scholar 

  23. Windischmann, H.; Mark, P.: A model for the operation of a thin film SnOx conductance modulation carbon monoxide sensor. J. Electrochem. Soc. 126 (1979) 627.

    Article  CAS  Google Scholar 

  24. Voit, H.: Struktur und elektrische Eigenschaften gesputterter WO, Schichten sowie deren Beeinflussung durch Oberflächenreaktionen. Dipl.-Arbeit Univ. Regensburg, September 1980.

    Google Scholar 

  25. Treitinger, L.; Voit, H.; v. Philipsborn, H.: W03-x films deposited by reaction sputtering. Thin Solid Films (in preparation).

    Google Scholar 

  26. Treitinger, L.; Voit, H.: Electrical transport in reactively sputtered WO3_x films. Sensors and Actuators (in preparation).

    Google Scholar 

  27. Pink, H.; Treitinger, L.; Vité, L.: Preparation of fast detecting SnO2 gas sensors. Jap. J. Appl. Phys. 19 (1980) 513.

    Article  CAS  Google Scholar 

  28. Okuma, H.; Takahashi, T.; Katsura, M.; Ichinose, N.: New- ly developed LP-gas sensor. Toshiba Rev. 118 (1979) 31.

    Google Scholar 

  29. Tischer, P.; Pink, H.; Treitinger, L.: Operation and stability of SnO2 gas sensors. Jap. J. Appl. Phys. 19 (1980) Suppl. 19–1, 513.

    Google Scholar 

  30. Veith, H.: Dielektrische Eigenschaften des Sorptionswassers in hochpolymeren Isolierstoffen. Kolloid Z. 152 (1957) 36.

    Article  CAS  Google Scholar 

  31. Channon, N. D.: A thick film humidity indivator. J. Soc. Environ. Eng. (1979) 23.

    Google Scholar 

  32. Regtien, P. P. L.; Makkink, H. K.: A capacitive dew-point sensor. Delft Prog. Rep. 3 (1978) 107.

    CAS  Google Scholar 

Download references

Author information

Authors and Affiliations

Authors

Rights and permissions

Reprints and permissions

Copyright information

© 1984 Springer-Verlag Berlin Heidelberg

About this chapter

Cite this chapter

Heywang, W. (1984). Chemische Effekte. In: Sensorik. Halbleiter-Elektronik, vol 17. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-09863-9_8

Download citation

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-662-09863-9_8

  • Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg

  • Print ISBN: 978-3-540-12767-3

  • Online ISBN: 978-3-662-09863-9

  • eBook Packages: Springer Book Archive

Publish with us

Policies and ethics