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Chemische Effekte

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Sensorik

Part of the book series: Halbleiter-Elektronik ((HALBLEITER,volume 17))

  • 124 Accesses

Zusammenfassung

Im Rahmen von Prozeßüberwachung, Umweltschutz und Arbeitssicherheit besteht der Wunsch, an sehr vielen Stellen die Konzentration bestimmter, auch schädlicher oder gefährlicher Stoffe in Gasen oder Flüssigkeiten laufend automatisch zu überwachen. Für einen so breit gestreuten, ständigen Einsatz können Analysegeräte, wie sie üblicherweise in Laboratorien verwendet werden, nicht eingesetzt werden, da im allgemeinen Meßzeit und finanzieller Aufwand viel zu hoch wären. Seit Jahren wird daher daran gearbeitet, verschiedene physikalisch-chemische Effekte auszunützen, um die Konzentration der betreffenden Stoffe mit möglichst einfachen Mitteln nachzuweisen. Als Ergebnis dieser Arbeiten erwartet man Bauelemente, die die Konzentration des nachzuweisenden Stoffs möglichst direkt in ein elektrisches Signal umwandeln. Um dieses Ziel kostengünstig zu erreichen, ist man bereit, Konzessionen bezüglich Genauigkeit und Breite des Anwendungsbereichs einzuräumen.

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Literatur zu Kapitel 7

  1. Wagner, C.: Über den Mechanismus der elektrischen Strom- leitung im Nernst-Stift. Naturwissenschaften (1943) 265.

    Google Scholar 

  2. Weissbart, J.; Rubka, R.: Oxygen gauge. Rev. Sci. Instr. 32 (1961) 593.

    Article  Google Scholar 

  3. Rickert, H.: Elektrochemie fester Stoffe. Berlin: Springer 1977, S. 117 ff.

    Google Scholar 

  4. Möbius, H. H.; Hartung, R.; Guth, U.: Ergebnisse der Entwicklung und Erprobung von Festelektrolytsensoren zur kontinuierlichen elektrochemischen Sauerstoffmessung in Rauchgasen. Messen Steuern Regeln 22 (1979) 269.

    Google Scholar 

  5. Eddy, D. S.: Physical principles of the zirkonia exaust gas sensor. IEEE Trans. Vehicular Technology VT-23 (1974) 125.

    Google Scholar 

  6. Fleming, D. S.: Physical principles governing nonideal behaviour of the zirconia oxygen sensor. J. Electrochem. Soc. 124 (1977) 21.

    Article  Google Scholar 

  7. Gauthier, M.; Bellemare, R.; Belanger, A.: Progress in the development of solid-state sulfate detectors for sulfur oxides. J. Electrochem. Soc. 128 (1981) 371.

    Article  Google Scholar 

  8. Johnson Jr., R. T.; Biefeld, R. M.: Ionic conductivity of Lis A1O4 and Li5GaO4 in moist environments: Potential humidity sensors. Mat. Res. Bull. 14 (1979) 537.

    Article  Google Scholar 

  9. Müller, R.: Bauelemente der Halbleiter-Elektronik, 3. Aufl., Berlin: Springer 198 7 (Halbleiter-Elektronik, Band 2).

    Google Scholar 

  10. Bergveld, P.: Development, operation, and application of the ionsensitive field-effect transistor as a tool for electrophysiology. IEEE Trans. Biomed. Eng. BME-19 (1972) 342.

    Google Scholar 

  11. Ulich, H.; Jost, W.: Kurzes Lehrbuch der physikalischen Chemie. Darmstadt: Steinkopff 1957.

    Google Scholar 

  12. Matsuo, T.; Wise, K. D.: An integrated field-effect electrode for biopotential recording. IEEE Trans. Biomed. Eng. BME21 (1974) 485.

    Google Scholar 

  13. Bergveld, P.: Sensors and actuators 1 (1981) 17.

    Article  Google Scholar 

  14. Sze, S. M.: Physics of semiconductor devices. Wiley-Interscience. New York: Wiley 1969, p. 467.

    Google Scholar 

  15. Steele, C. M.; Hile, J. M.; Mac Iver, B. A.: Hydrogen sensitive palladium gate MOS capacitors. J. Appl. Phys. 47 (1976) 2537.

    Google Scholar 

  16. Plihal, M.: Ein Feldeffekt-Gassensor für Wasserstoff. Siemens Forsch. u. Entwickl.-Ber. 6 (1977) 53.

    Google Scholar 

  17. Lundström, K. I.; DiSefano, T.: Hydrogen induced interfacial polarization at Pd-SiO2 interfaces. Surf. Sci. 59 (1976) 23.

    Article  Google Scholar 

  18. Lundström, K. I.; Shivaraman, M. S.; Svensson, C. M.: A hydrogensensitive Pd-Gate MOS transistor. J. Appl. Phys. 46 (1975)3876.

    Article  Google Scholar 

  19. Shivaraman, M. S.: Detection of H2S with Pd-gate MOS field effect transistors. J. Appl. Phys. 47 (1976) 3592.

    Article  Google Scholar 

  20. Heiland, G.: Zum Einfluß von adsorbiertem Sauerstoff auf die elektrische Leitfähigkeit von Zinkoxidkristallen. Z. Phys. 138 (1954) 459.

    Article  Google Scholar 

  21. Seiyama, T.; Kagawa, S.: Study on a detector for gaseous components using semiconductive thin films. Anal. Chem. 38 (1966) 1069.

    Article  Google Scholar 

  22. Figaro Engineering Inc. TSG Gas Sensor. General Catalogue, October (1977).

    Google Scholar 

  23. Windischmann, H.; Mark, P.: A model for the operation of a thin film SnOX conductance modulation carbon monoxide sensor. J. Electrochem. Soc. 126 (1979) 627.

    Article  Google Scholar 

  24. Voit, H.: Struktur und elektrische Eigenschaften gesputterter WO, Schichten sowie deren Beeinflussung durch Oberflächenreaktionen. Dipl.-Arbeit Univ. Regensburg, September 1980.

    Google Scholar 

  25. Pink, H.; Treitinger, L.; Vité, L.: Preparation of fast detecting SnO2 gas sensors. Jap. J. Appl. Phys. 19 (1980) 513.

    Article  Google Scholar 

  26. Okuma, H.; Takahashi, T.; Katsura, M.; Ichinose, N.: New- ly developed LP-gas sensor. Toshiba Rev. 118 (1979) 31.

    Google Scholar 

  27. Tischer, P.; Pink, H.; Treitinger, L.: Operation and stability of SnO2 gas sensors. Jap. J. Appl. Phys. 19 (1980) Suppl. 19–1, 513.

    Article  Google Scholar 

  28. Veith, H.: Dielektrische Eigenschaften des Sorptionswassers in hochpolymeren Isolierstoffen. Kolloid Z. 152 (1957) 36.

    Article  Google Scholar 

  29. Channon, N. D.: A thick film humidity indivator. J. Soc. Environ. Eng. (1979) 23.

    Google Scholar 

  30. Regtien, P. P. L.; Makkink, H. K.: A capacitive dew-point sensor. Delft Prog. Rep. 3 (1978) 107.

    Google Scholar 

  31. Neu Göpel, W.: Entwicklung Chemischer Sensoren: Empirische Kunst oder systematische Forschung? Tech. Messen 52 (1985) 47.

    Google Scholar 

  32. Neu Nylander, C.: Chemical and Biological Sensors. J.Phys. E.: Sci. Instrum. 18 (1985) 736.

    Article  Google Scholar 

  33. Neu Lundström, I.; Armgarth, M.; Spetz, A.; Winquist, F.: Gas Sensors Based on Catalytic Metal-Gate Field-Effect Devices. Sensors and Actuators 10 (1986) 399.

    Article  Google Scholar 

  34. Neu Moseley, P.T.; Tofield, B.C.: Solid State Gas Sensors. Bristol: Hilger 1987

    Google Scholar 

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Authors and Affiliations

  1. Zentralen Forschung und Entwicklung, Siemens AG, München, Deutschland

    Dr. rer. nat. Walter Heywang (Leiter, Professor)

  2. Technischen Universität München, München, Deutschland

    Dr. rer. nat. Walter Heywang (Leiter, Professor)

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  1. Dr. rer. nat. Walter Heywang
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Heywang, W. (1988). Chemische Effekte. In: Sensorik. Halbleiter-Elektronik, vol 17. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-09862-2_8

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