Zusammenfassung
Die Entwicklung für den Herstellungsprozeß integrierter Schaltungen wird formal mit der Dokumentation des Prozeßablaufes (Flowchart) und dem Festlegen der Design-Regeln abgeschlossen.
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Literatur
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© 1991 Springer-Verlag Berlin Heidelberg
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Fehling, H., Schumicki, G. (1991). Design-Regeln. In: Prozeßtechnologie. Mikroelektronik. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-09540-9_13
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