Zusammenfassung
In diesem Kapitel wollen wir uns chemischen Fragestellungen zuwenden. Gerade in den letzten Jahren hat sich durch die Verwendung von plasmadiagnostischen Verfahren unser Wissen auf diesem Gebiet sehr vertieft; gleichwohl soll bereits am Anfang betont werden, daß aus der weitgehend beschreibenden Literatur nur einige Beispiele aus der Halbleitertechnologie herausgegriffen wurden.
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© 1994 Springer-Verlag Berlin Heidelberg
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Franz, G. (1994). Ätzmechanismen. In: Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-08979-8_9
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